面对CNC机床细管内孔±5μm椭圆度公差，如何选择高效的非接触或接触式测量技术？【精密检测】

1. 细管内孔的基本结构与技术要求

想象一下，油缸就像是一个精密的圆筒，活塞在里面上下移动，就像是一个完美贴合的活塞在注射器里移动。细管内孔，特别是那些用在CNC机床上加工出来的，就像这些油缸、轴承套筒、甚至喷油嘴里的微小通道。它的基本结构就是一个内表面是圆柱形的孔洞，但这个“圆柱形”的完美程度，直接影响了它在装配和使用时的性能。

对于这样的细管内孔，我们通常有几个关键的技术要求：* 内径尺寸：这是最基本的，确保零件能正确安装。* 圆度：通俗来说，就是孔洞在某个截面是不是一个完美的圆。* 椭圆度：这是圆度的一种特殊情况，当一个圆截面呈现出明显的“扁”或“长”的形状时，我们就说它有椭圆度。它衡量的是孔洞在一个截面上最长直径和最短直径之间的差异。* 圆柱度：它关系到整个孔洞轴线方向上的圆度和直线度，就像一根笔直的管子，既要每个截面都圆，又要从头到尾都直。* 同轴度：当一个零件有多个孔洞或表面时，它们之间的中心线是否对齐。* 表面粗糙度：内孔表面的光滑程度，影响摩擦、密封和使用寿命。

在CNC机床上加工细管内孔时，特别是为了达到±5μm（也就是千分之五毫米）的精度，对椭圆度的检测变得尤为关键。如果细管内孔存在椭圆度，就像一个有点扁的轮胎，会导致配套件装配困难、运动卡涩、密封不良，甚至影响流体流动或机械部件的正常工作，直接影响产品的功能和可靠性。

2. 针对细管内孔的相关技术标准简介

细管内孔的几何形状和尺寸参数，如内径、椭圆度、圆度、圆柱度等，都有明确的定义和评价方法，这些都可以在行业通用的技术标准中找到。

• 内径：通常指通过测量孔内表面任意两点之间的最大距离来确定的基本尺寸。

• 椭圆度：在细管内孔的某个横截面上，测量出其最大直径Dmax和最小直径Dmin。椭圆度通常定义为这两个直径的差值，即 椭圆度 = Dmax - Dmin。评价时，这个差值越小，说明孔的圆度越好，椭圆度越小。

• 圆度：比椭圆度更广义，它描述的是一个实际圆与理想圆之间的偏差。评价方法通常是找出包容实际轮廓的最小外接圆和最大内切圆，或者采用最小二乘圆法，计算实际轮廓点到拟合圆心的最大径向偏差。椭圆度是圆度误差的一种表现形式。

• 圆柱度：它综合评价了圆度、直线度和锥度等因素，要求在整个测量长度上，所有横截面都应保持圆且直径一致，并且它们的中心线应保持在一条直线上。

• 同轴度：当细管与其他圆柱形特征或轴线有配合关系时，要求它们的几何轴线位于同一条直线上或在允许的偏差范围内。

这些参数的检测和评价，都是为了确保零件符合设计要求，从而保证产品的功能性和可靠性。

3. 实时监测/检测技术方法

在CNC机床加工细管内孔椭圆度并达到±5μm精度的背景下，市面上有很多种测量技术可以帮助我们实现这一目标。这些技术各有特点，就像医生诊断病情有不同的检查手段一样，我们需要根据具体情况选择最合适的“检查”方式。

3.1 市面上各种相关技术方案

3.1.1 接触式扫描测量

接触式扫描测量，就像医生用听诊器贴着病人身体检查一样，测量探头会直接接触到被测工件表面。它通过让一个微小的探针沿着内孔壁连续滑动，或者以非常密集的点位触发，来获取大量的坐标数据点。这些数据点收集起来后，就像用笔描绘出内孔的实际轮廓，然后通过专门的软件算法，拟合出一个最能代表这些点的圆，并计算出最大和最小直径，从而得到椭圆度。

工作原理与物理基础：核心原理是基于三坐标测量机的结构，探头内部集成有高精度的传感器（通常是压电式或应变片式），当探针接触到工件表面时，探头会产生一个触发信号，或在扫描过程中根据探针的位移量实时输出坐标数据。这些数据点的坐标 (x, y, z) 被精确记录下来。对于内孔椭圆度检测，探头在CNC机床或专用测量设备的控制下，以螺旋线或圆弧路径在内孔壁上扫描。软件将采集到的三维点云数据投射到二维平面，通过最小二乘法等数学方法拟合出圆。* 最小二乘圆拟合：假设内孔截面的测量点集为 (xi, yi)，拟合圆的圆心为 (a, b)，半径为 R。目标是使所有测量点到圆心的距离平方和最小。 数学模型：Sum[(xi - a)^2 + (yi - b)^2 - R^2]^2 最小化。 通过偏导数置零等方法求解 a, b, R。* 椭圆度计算：在拟合圆的基础上，软件会进一步分析测量点，找到距离拟合圆心最远的点和最近的点，从而确定最大径向偏差 (Rmax) 和最小径向偏差 (Rmin)。椭圆度通常计算为 椭圆度 = 2 * (Rmax - Rmin)。

核心性能参数的典型范围：* 精度：通常在0.8μm到几微米之间，取决于测量机的等级和探头的性能。例如，高精度三坐标测量机的MPE_E可以达到0.9 + L/400 (µm)。* 分辨率：可达0.1μm甚至更高。* 响应时间：扫描速度可达50-200 mm/s，但整体测量周期较长，因为需要探针移动和数据采集。

技术方案的优缺点：* 优点： * 高精度和可靠性：长期以来被认为是高精度尺寸和形位测量领域的金标准，尤其适用于复杂几何特征的检测。 * 多功能性：除了椭圆度，还能测量内径、圆度、圆柱度、同轴度、平面度等多种形位公差。 * 适用性广：对工件的材质、表面光洁度要求相对较低。* 缺点： * 测量速度慢：探针需要物理接触并移动，速度受限，不适合高速在线检测。 * 可能损伤工件表面：尤其对于软质或精密抛光的工件，探针的接触可能留下划痕。 * 探头尺寸限制：对于极小直径的深孔，探头可能无法进入。 * 维护成本较高：测量机和探头的维护、校准成本不低。 * 需要特定环境：对温度、湿度、振动有较高要求。

3.1.2 激光三角测量（包含激光扫描三角测量）

激光三角测量是一种非接触式光学测量技术，它就像我们用手电筒照亮物体并观察影子来判断物体形状一样，只不过这里用的是激光和高精度传感器。对于细管内孔，通常是将一个微型探头送入孔内，探头内部的激光器会向孔壁发射一束激光，反射回来的光线则被探头内的接收器（例如CCD或CMOS传感器）捕捉。由于激光器、接收器和被测表面形成了一个三角形，通过测量反射光斑在接收器上的位置变化，就可以计算出探头到孔壁的距离。

工作原理与物理基础：激光三角测量法的核心是利用几何三角关系来确定距离。1. 激光发射：一个激光发射器（如激光二极管）向被测表面发射一束高度准直的激光束。2. 光斑反射与接收：激光束照射到物体表面后，形成一个光斑。这个光斑会产生漫反射，一部分反射光线会通过一个接收光学系统（透镜）聚焦到位置敏感探测器（PSD）、CCD或CMOS传感器上。3. 距离计算：激光发射器、接收光学系统和探测器之间有固定的几何位置关系。当被测物体表面的距离发生变化时，反射光斑在探测器上的位置也会发生移动。通过测量光斑在探测器上的位移量，并结合预先标定的几何参数，就可以精确计算出物体表面的距离。 简化数学模型：假设激光器与接收器基线距离为 L，激光器出射角为 α，接收器接收角为 β，当物体距离发生 ΔZ 变化时，光斑在探测器上产生 ΔX 的位移。 根据相似三角形原理，可以推导出距离 Z 与光斑位移 ΔX 的关系。 Z = (L * sin(β)) / (sin(α) + cos(α) * ΔX / f)，其中 f 为接收镜头的焦距。 在实际应用中，这个公式会通过精确标定来简化或通过查找表实现。

对于细管内孔的椭圆度检测，激光三角测量探头通常会进行旋转扫描。当探头在内孔中心旋转时，激光束会扫描整个内孔圆周，在不同角度测量探头中心到孔壁的距离。通过高速采样，可以在一圈内获取成百上千个距离数据点。然后，将这些距离数据点结合旋转角度信息，重建出内孔的二维轮廓。* 椭圆度计算：与接触式测量类似，通过对重建的轮廓数据进行圆拟合，找出最大径向距离Dmax和最小径向距离Dmin，计算 椭圆度 = Dmax - Dmin。* 激光扫描三角测量：一些系统采用了双轴激光扫描的方式，即同时从两个方向对物体进行扫描，这样可以更快、更全面地获取数据，提高测量速度和稳定性，并减少由于单侧遮挡或表面反射不均造成的误差。

核心性能参数的典型范围：* 精度：激光测量精度一般为±0.1μm至±5μm。* 分辨率：通常在0.01μm到1μm。* 采样频率：极高，可达数千赫兹甚至数万赫兹。

技术方案的优缺点：* 优点： * 非接触测量：避免对工件表面造成损伤，特别适合精密加工件、软质材料或易损表面。 * 测量速度快：高采样频率和非接触特性使其能够实现高速在线检测，提高生产效率。 * 高精度：在合适的条件下，可以达到微米甚至亚微米级的精度。 * 可测量多种几何参数：除了椭圆度，还能测量内径、锥度、台阶、同轴度等。* 缺点： * 对表面特性敏感：激光的反射效果受材料颜色、粗糙度、光泽度等影响。高反射面（如镜面）或透明材料可能需要特殊激光波长或测量策略。 * 对环境光线敏感：强环境光可能干扰测量，需要遮蔽。 * 探头尺寸限制：尽管有超小探头，但对于极小直径的深孔仍有物理限制。 * 光路遮挡问题：如果测量路径中有障碍物，可能会影响测量。

3.1.3 气动测量

气动测量，就像我们吹气球，通过感受气压的变化来判断气球大小一样，它利用压缩空气的流量和压力变化来测量尺寸。在细管内孔检测中，专门设计的气动量规会插入孔内，通过量规上的喷嘴向孔壁喷射高压空气。当内孔直径发生微小变化时，喷嘴与孔壁之间的间隙会随之改变，从而影响空气的流出量和量规内部的背压。高精度的压力传感器会捕捉到这些背压变化，并将其转换为对应的直径尺寸。

工作原理与物理基础：气动测量基于伯努利原理和气流阻力理论。1. 供气系统：高压气体（通常是经过滤、稳压的压缩空气）通过一个恒流或恒压系统供给。2. 测量喷嘴：气体通过测量仪内部的节流孔，然后从气动量规上的测量喷嘴喷向内孔壁。3. 背压变化：喷嘴与内孔壁之间的间隙形成了一个可变的气流阻力。当间隙增大（即内孔直径增大）时，空气流出量增加，背压下降；当间隙减小（内孔直径减小）时，空气流出量减少，背压升高。4. 压力-尺寸转换：高灵敏度的差压传感器实时监测背压，并将其线性转换为对应的直径尺寸。* 椭圆度计算：通过旋转气动量规或在不同角度多次测量，可以获取不同方向的内径数据，进而计算椭圆度。

核心性能参数的典型范围：* 精度：0.1μm至0.5μm，非常高。* 重复性：通常优于0.1μm。* 响应时间：极快，几乎是瞬时响应。

技术方案的优缺点：* 优点： * 非接触测量：气流不会损伤工件表面，适合软质、精密或脆弱材料。 * 高精度和高重复性：在小范围内具有极高的测量精度和稳定性。 * 对表面粗糙度不敏感：气流对表面微观起伏的敏感度低于光学方法，可穿透微小油膜和水珠。 * 测量速度快：响应迅速，适合在线批量检测。 * 耐受恶劣环境：对油污、灰尘有一定耐受性。 * 维护成本低：结构相对简单，易于维护。* 缺点： * 测量范围窄：每个量规只能测量很小的尺寸范围，需要针对不同尺寸定制量规。 * 只能测量圆形或近圆形孔：对于异形孔或复杂几何形状无能为力。 * 对孔深和通孔有要求：深孔可能影响气流稳定性，盲孔需要特殊设计。 * 需要气源系统：需要额外配置稳定的压缩空气源和气路系统。 * 对温度变化敏感：空气的密度和粘度受温度影响，需温控。

3.1.4 高精度接触式圆度/形位误差测量

这种技术是接触式测量的一个特例，它专注于对圆度、圆柱度等形位误差进行超高精度的评估。它不是简单测量直径，而是精确描绘整个圆周轮廓的微小偏差。通常，这种设备的核心是一个超精密的回转工作台或主轴，被测工件放置在上面旋转，或者探针围绕静止的工件旋转。探针（通常是接触式触发或扫描探针）会紧贴内孔壁进行扫描，主轴的极高精度保证了探针的运动轨迹本身是一个近乎完美的圆。探针在扫描过程中捕捉到的径向位移数据，就精确反映了内孔表面与理想圆之间的偏差。

工作原理与物理基础：这种测量仪器的核心是一个高精度的旋转主轴（或工作台），其跳动误差被控制在极小的范围内（例如几纳米）。1. 基准建立：通过主轴的精确旋转，建立一个理想的测量基准圆。2. 探针扫描：探针尖端轻轻接触工件内孔表面，随着主轴旋转，探针沿圆周路径移动。3. 径向位移检测：探针连接着高精度的位移传感器（如电感式、电容式传感器），实时测量探针的径向位移。这个位移直接反映了内孔表面与主轴中心之间的距离变化。* 数据分析：采集到的径向位移数据经过滤波和算法处理，可以分离出圆度误差、椭圆度、圆柱度等形位误差。椭圆度作为圆度误差的一种常见形式，可以通过分析圆度曲线中的主次轴方向来确定。

核心性能参数的典型范围：* 圆度精度：极高，可达0.015μm甚至更好。* 分辨率：可达纳米级。* 重复性：通常优于0.01μm。

技术方案的优缺点：* 优点： * 极高的形位误差测量精度：是目前测量圆度、圆柱度等形位误差的最高标准，尤其适用于计量院、科研机构和最高精度工件的检测。 * 数据全面：能够提供详细的轮廓数据，支持多种形位误差分析。 * 抗环境干扰能力强：相对不受表面光洁度、颜色、环境光等影响。* 缺点： * 测量速度慢：为了保证精度，扫描速度通常较低，且需要精密的找正和对中操作。 * 操作复杂：对操作人员的技能要求较高。 * 设备体积大，成本高昂：通常是实验室级设备，不适合在线检测。 * 探针可能损伤工件：与接触式扫描测量有同样的问题。 * 不适用于深孔或小孔：探针尺寸和测量原理限制了其对狭窄、深长孔的适用性。

3.2 市场主流品牌/产品对比

这里我们将对比几款市场上主流的测量设备，它们代表了不同的技术路径，各有侧重。

• 瑞典海克斯康 (采用接触式扫描测量技术) 瑞典海克斯康作为全球知名的测量解决方案提供商，其接触式扫描测量产品以其高精度和多功能性而闻名。这类设备通过高精度触发或扫描测头，在CNC机床的细管内孔表面移动，获取大量离散点，然后通过复杂的算法拟合圆并计算椭圆度。其最大允许误差(MPE_E)可达0.9 + L/400 (µm)，最大允许扫描误差(MPE_THP)为1.5 µm，测量速度可达 150 mm/s。海克斯康的优势在于测量范围广，可以应对各种复杂几何特征，被广泛应用于质量检测实验室和高精度制造领域。

• 英国真尚有 (采用激光三角测量技术) 英国真尚有ZLDS104小孔内径传感器采用非接触式激光三角测量原理，专为小孔内径在线测量设计。该传感器的探头直径可定制小于4mm，最小可测内径4mm，最大测量范围48mm，精度可达±2μm，采样频率高达9.4kHz。此外，该传感器还支持蓝色激光，适用于高反射或半透明材料的测量，并具有IP67防护等级，能够适应严苛的工业环境。

• 日本基恩士 (采用激光扫描三角测量技术) 日本基恩士的LS-9000D系列采用激光扫描三角测量法。该系统通常使用两个高精度激光束同时扫描工件内孔直径。它通过检测激光束被工件遮挡的时间来计算直径，并快速获取不同角度的直径数据来计算椭圆度。日本基恩士的测量精度可达±0.1μm (重复精度)，最小显示单位0.001μm，测量速度高达64000次/秒。其极高的测量速度和重复精度是其显著优势，特别适合高产量、需要快速在线检测的场景，且非接触式测量避免了工件损伤。

• 德国马尔 (采用气动测量技术) 德国马尔的Millimar C 1200/C 1700系列气动测量仪，通过气动测量原理实现高精度检测。高压空气通过特殊设计的测量喷嘴喷向内孔表面，内孔直径的变化会引起喷嘴与工件之间间隙的变化，进而改变空气的背压。通过高精度压力传感器测量背压并转换为直径尺寸，旋转测量可确定椭圆度。其测量精度可达0.1μm-0.5μm，重复性通常优于0.1μm，响应时间极快。德国马尔气动测量的主要优势在于非接触（气流）、高精度、高重复性，且对表面粗糙度不敏感，适合在线或近线批量检测。

• 美国泰勒霍普森 (采用高精度接触式圆度/形位误差测量技术) 美国泰勒霍普森的Talyrond 585XL是一款专注于高精度圆度/形位误差测量的仪器。它利用一个超精密旋转主轴作为测量基准，探针沿内孔表面进行扫描，并通过分析探针的径向位移数据来计算圆度、椭圆度等形位误差。其圆度精度可达0.015μm，是业界公认的圆度测量最高标准之一。该设备的优势在于其无与伦比的圆度测量精度，常用于研发、计量实验室和对形位公差有极致要求的工件检测。

3.3 选择设备/传感器时需要重点关注的技术指标及选型建议

选择适合CNC机床细管内孔椭圆度检测的设备，就像选择一把趁手的工具，需要结合实际需求仔细考量。

需要关注的技术指标：

• 精度 (Accuracy)：这是最重要的指标，直接决定了测量结果的可靠性。比如，如果目标是±5μm的椭圆度精度，那么选择的传感器自身线性度误差和重复性误差必须远小于这个值，最好是±2μm甚至更高。传感器精度越高，越能捕捉到微小的形状偏差。

• 重复性 (Repeatability)：衡量多次重复测量同一位置时，结果的一致性。重复性差的设备，即使精度理论值高，实际使用中也会因波动大而不可靠。

• 分辨率 (Resolution)：设备能够检测到的最小尺寸变化。高分辨率能让测量结果更精细，反映出更细微的轮廓变化。

• 测量范围 (Measuring Range)：设备能够测量的最大和最小内径尺寸。如果细管内孔直径变化较大，需要选择测量范围更广的设备。

• 探头尺寸 (Probe Size)：特别是对于细管内孔，探头能否顺利进入并完成测量至关重要。探头直径越小，能测量的内孔越细。

• 测量速度/采样频率 (Measuring Speed/Sampling Frequency)：对于在线检测或批量生产，测量速度直接影响生产效率。高采样频率意味着在单位时间内能获取更多的测量点，使重建的轮廓更准确、更精细。

• 非接触/接触式：

  • 非接触式（如激光、气动）：不损伤工件，适合软质、精密或已加工完成的表面，速度快。

  • 接触式：精度高、抗表面特性影响能力强，但可能损伤工件，速度慢。

• 环境适应性：防护等级（如IP67）、抗振动、抗冲击、工作温度范围等，决定了设备是否能在CNC机床的恶劣工业环境下稳定工作。

• 数据接口与集成能力：RS232、RS485、以太网、模拟输出等接口，以及是否支持同步输入（如编码器），决定了设备能否方便地与CNC系统或自动化生产线集成。

• 材料适应性：对于特殊材料（如高反射金属、半透明材料），某些技术（如蓝色激光）可能具有更好的表现。

选型建议：

• 追求极致精度和形位分析（实验室级）：

  • 如果您的主要目标是获得细管内孔超高精度的圆度、圆柱度等形位误差数据，并且对测量速度要求不高，不介意接触测量可能带来的风险，那么高精度接触式圆度测量仪（如美国泰勒霍普森）是最佳选择。它们能提供纳米级的圆度精度，但成本高昂且不适合在线应用。

• 高精度、高速、在线检测且不损伤工件：

  • 对于CNC机床上的细管内孔，要求达到±5μm甚至更高的精度，同时又要保证测量速度，且不能损伤工件表面，那么激光三角测量和气动测量是首选。

  • 激光三角测量：

    • 优势：非接触、测量速度极快、探头尺寸小、适用孔径范围相对广、能获取丰富的三维轮廓数据。尤其适合需要实时反馈，或者对孔深、复杂形状有一定要求的场景。如果管壁材料是高反射或半透明，推荐使用支持特定激光波长的设备。

    • 建议：在CNC机床上，可将激光探头集成到刀具库，实现自动化测量。

  • 气动测量：

    • 优势：非接触（气流）、精度和重复性极高、对表面粗糙度和油污不敏感、响应快。特别适合大批量、单一尺寸的精密零件检测，或在恶劣环境下工作。

    • 建议：需要为每种直径定制气动量规，适合尺寸相对固定，且需要极高重复性的批量生产线。

• 通用型高精度测量（质检实验室）：

  • 如果需要应对多种零件、多种测量任务，且对测量速度有一定要求但非极致，那么接触式扫描测量（三坐标测量机）（如瑞典海克斯康）会是很好的通用选择。它功能全面，可测量多种几何特征，但通常作为离线或近线检测工具。

3.4 实际应用中可能遇到的问题和相应解决建议

在CNC机床的细管内孔椭圆度检测中，即使选择了合适的设备，实际应用中也可能遇到一些挑战。

1. 问题：测量稳定性差，数据波动大。

   • 原因：

     • 振动：CNC机床加工时的振动会传递到测量设备上，影响测量精度，尤其对于非接触式测量。

     • 温度变化：机床运行时温度升高，工件和测量设备热胀冷缩，导致尺寸变化。

     • 表面状态：工件内孔表面粗糙度、光洁度不均、有油污、切削液残留等，会影响激光反射或探针接触。

   • 解决建议：

     • 振动隔离：为测量设备或整个机床安装减震垫，或在测量时暂停机床其他运动。

     • 温度补偿：在恒温环境下进行测量，或使用带温度补偿功能的传感器/软件。

     • 表面处理：在测量前彻底清洁工件内孔表面，去除油污、切削液和碎屑。对于激光测量，可以尝试调整激光波长（如使用蓝光）。

2. 问题：探头无法进入或测量深孔受限。

   • 原因：细管内孔直径过小，或孔径与孔深比（深径比）过大，导致探头物理上无法进入或测量臂触及不到底部。

   • 解决建议：

     • 选择超小探头：优先选择探头直径最小的传感器型号。

     • 定制探头：与供应商沟通，看是否能定制更长或更细的探头。

     • 分段测量：对于超长深孔，可能需要多次插入探头，分段测量后拼接数据。

     • 结合其他技术：对于某些无法接触或光线到达的深孔，可能需要考虑X射线CT等非破坏性检测技术，但这通常是离线且成本更高。

3. 问题：测量速度与生产节拍不匹配。

   • 原因：测量过程耗时过长，拖慢了整体生产效率。

   • 解决建议：

     • 优化测量路径：减少探头空行程，选择最少但足够覆盖关键区域的测量点或扫描路径。

     • 选择高速测量设备：优先选择高采样频率的非接触式激光或气动测量设备。

     • 并行测量：在条件允许下，配置多台测量设备或多探头系统，同时测量多个工件或多个位置。

     • 统计过程控制 (SPC)：通过抽检而不是全检来监控生产过程，一旦发现趋势异常再进行全检。

4. 问题：数据处理和分析复杂，需要专业知识。

   • 原因：原始测量数据量大，转换为有意义的几何参数（如椭圆度）需要复杂的算法和专业软件。

   • 解决建议：

     • 选择集成度高的解决方案：优先选择自带强大测量软件，能自动进行数据处理、形位公差计算和报告生成的设备。

     • 操作人员培训：对操作人员进行专业培训，掌握设备使用和数据分析技能。

     • 自动化集成：将测量设备与CNC机床或生产线控制系统深度集成，实现测量、分析和反馈的自动化，减少人工干预。

4. 应用案例分享

• 航空航天发动机部件：在制造飞机发动机的精密油管或喷射器组件时，内孔椭圆度直接影响燃油的喷射效率和密封性能。激光三角测量传感器能够在线快速检测这些细管内孔的椭圆度，确保每个部件都符合严格的航空标准。

• 医疗器械精密导管：生产用于微创手术的精密医疗导管时，其内孔的椭圆度、圆度和光滑度对导管的柔顺性和流体传输至关重要。非接触式激光测量可以避免污染和损伤脆弱的导管内壁，实现高精度质量控制。

• 汽车零部件液压油缸：在汽车制动系统或动力转向系统的液压油缸制造中，活塞在油缸内的平稳运动依赖于高精度的内孔圆度和椭圆度。接触式扫描测量或气动测量常用于抽检，以保证油缸内孔达到微米级的形位公差要求，从而确保液压系统的可靠性。

• 精密轴承套圈：轴承套圈内孔的椭圆度直接影响轴承的运转精度和使用寿命。在轴承制造过程中，高速、高精度的气动测量或激光测量系统被集成到生产线上，对每个套圈进行快速检测，剔除不合格产品，保证最终产品的质量。