精密加工设备的与精密测量技术的发展

精密与超精密加工技术是先进制造技术的一个重要组成部分，是众多大型系统实现简化设计和扩展功能的主要方法。近年来，各种新技术在精密加工中得到了广泛的应用，使精密与超精密加工技术产生了飞跃的发展，大大改变了它的技术面貌。当代的精密工程、微细工程和纳米技术是现代制造技术的前沿，也是未来技术的基础。

回顾过去的几十年，人类取得的每一项重大科技成果，几乎都与制造技术尤其是精密加工技术密切相关。从某种意义上说，超精密加工担负着支持最新科学发展和发明的重要使命。超精密加工技术既是高代价、高投入的工艺技术，又是高增值、高回报的工艺技术，世界工业先进国家都把它放在国家技术和经济振兴的重要位置。

由于超精密加工的加工准确度和表面测量都很高，一定要有相应的检测手段，才能说明是否达到技术要求。因此，在精密和超精密加工中，检测的难度更大，即要求测量误差比加工误差高一个数量级。

随着科技的日益进步，高精度高度自动化的数控机床越来越多应用到生产中。如何能实现精加工实时测量呢？我们知道，高精度高度自动化数控机床需要优秀的技术工人操作，如果不能做到实时测量，势必会增加技术工人的操作工时，生产效率比较低。如果在自动化设备上面加装模块级的非接触式检测设备，在精加工过程中实时测量校准，甚至可以将传感器的测量数据用软件处理控制精加工的进给量。这样技术工人第一时间了解工件的尺寸信息并加以判断，生产效率大大提高。

在非接触式检测设备中，激光类位移传感器由于其高精度（可以达到0.1um级），高测量频率，高稳定性，高定位精度，环境要求低等因素，成为精加工行业中最优选的检测设备。ZLDS100在测量工件厚度、直径、凹槽深度，轮廓检测，精确定位等等应用上都具有非常好的性能表现。ZLDS100具有非常高的设备集成度，60mm*50mm*20mm模块级尺寸适用于绝大多数精加工设备的加装，并且外壳有多个定位孔便与定位。数据经过内部处理，最终通过网络串口（RS232或者RS485）反馈给计算机（或PLC）。ZLDS100在量程选取上具有范围广，重复精度高，线性度好等特点。量程从2mm-1250mm，重复精度最高0.02um，线性精度最高达到0.1um。无论从稳定性，精准度，ZLDS100都具有非常高的水平。

“今后制造技术的基础将在于超精密加工技术的完成”，这是美国军方人士的说法，同时也说明了超精密加工技术的重要性。从精密超精密加工的现状来分析，应加强超精密加工技术的研究力度，工厂、高校和研究所应密切合作，针对工业发展过程中的实际需求，一方面大力推广多年来我们在超精密加工技术研究方面取得的成果，另一方面还要加强创新性研究，推动这项技术的蓬勃发展。同时，精密加工技术的发展需要精密测量尤其是非接触式测量的发展与之匹配。市场对测量准确度不断提升的需求，也是鞭策研究人员加快开发高端产品去适应市场的动力。