NLS13纳米级位移计

NLS13的测量原理是基于散光检测的基础上的动态聚焦。

纳米级分辨率；
适用于柔软和敏感的物体表面测量（镜面和光滑表面）；
坚固耐用，使用寿命长；
振动分析；
传感器可进行自动对焦.

对于轮廓测定来说，NLS13自动对焦传感器是一种非常优越的测量解决方案，具有卓越的保真度，可靠的测量结果，适应广泛的应用，包括柔软或敏感表面。适用于厚膜测量和混合动力汽车，光学，通信，电子工程，电子行业材料试验等领域；摩擦学，机械工程（平整度，波纹度，粗糙度）和IC封装（翘曲，共面，凸块高度和体积）等。

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传感器	NLS13纳米级位移计
量程mm	1.5
分辨率 nm	10
线性度	≤ 0.2um
重复性nm	≤ 10
测量间隙mm	2.0
光源卤素灯W	780nm半导体激光二极管
光斑直径µm	1.9um
测量垂直度º	90±25
响应Hz	16～10K
输出	数据接RS232
重量g	探头约5000，控制器约4000

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