NLS11/NLS12纳米级位移计

传感器测量系统基于光谱共焦原理,由光学头和控制器组成，之间通过一根光缆连接。
该款传感器进行了小型化的封装，便于集成到现有的系统中。

应用于表面难以测量的物体（技术性及困难表面），是一种非接触式轮廓测量的通用的测量解决方案。理想情况下，传感器适合于敏感的，软的或液体的表面。适用于微机械工程，电气工程，光学行业，塑料和造纸行业，半导体和PCB产业的检测，工具行业等。

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传感器	NLS11/NLS12纳米级位移计
量程mm	1
分辨率 nm	20
线性度	NLS11: ≤ 1um NLS12: ≤ 2um
重复性nm	≤ 15
测量间隙mm	NLS11: 4 NLS12: 13.5
光源卤素灯W	NLS11: 670nm半导体激光二极管 NLS12: 780nm半导体激光二极管
光斑直径µm	NLS11: < 2um NLS12: 2.0um
测量垂直度º	90±25
响应Hz	16～1K
输出	数据接RS232，模拟0－10V
重量g	NLS11: 探头约250，控制器约4000 NLS12: 探头约2000，控制器约4000

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