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DP-Cx

数字压电转换器(DP)是一个压电转换设备,具有很高的线性度和非常完美的重复性,量程最大70μm,最小15um,延迟小于1nm。
普通压电转换器是非线性的,而且表现出滞后和不稳定的现象。为了克服这些不足之处,每个DP转换器都会内置一个位置传感器。这种传感器的输出控制电压消除滞后、非线性和输出不稳定的情况。每个DP转换器都会提供一个校准曲线,它可以作为一个基础,用于修正非常微小的非线性误差。
位置检测电路和压电驱动放大器已经微型化封装在独立的DP控制器,只需要给它提供±15V的电压就可以工作。这使得DP转换器非常适合于OEM应用。DP控制器跟模拟输入,14位并行数字接口,状态行和准备信号就可以组成一个完善系统。
DP转换器要能工作,最少需要一个DP控制器。对于实验室应用,如果要使用三个以上的DP控制器,可以安装在一个AX301主机里面,AX301提供位置显示,可选IEEE488,RS232和并行接口,并允许手动控制DP转换器。

返回列表
  • 外壳材料用不胀钢和微晶玻璃;

  • 15、35、70um的移动距离; 

  • 分辨率高达纳米级; 

  • 1ms响应时间; 

  • 安装方便简洁; 

  • 特别适用于OEM应用;

扫描显微探针; 

硬盘磁头测试; 

近场扫描光学显微镜; 

精密工程……

 

参数

符号

单位

备注

静态参数

 

4~20mA(500Ω阻抗)或0~10V

 

 

型号

 

S

M

L

 

 

材料

 

不胀钢和微晶玻璃

 

 

长度

 

42.2±0.3

76.7±0.3

127.8±0.3

mm

 

直径

 

20±0.15

 

 

mm

 

净重(不包含电缆和接头)

 

70

110

170

g

 

线缆长度

 

2040±40

 

 

mm

 

*移动范围

dxp·max

>15

>35

>70

μm

 

最大负荷

 

5

5

5

Kg

动态参数

 

工作温度

 

+10~+50

 

 

 

储存温度

 

0~+70

 

 

 

相对湿度

 

5~95(无冷凝)

%

 

工作压力

-VAC

10-3~10-5

t

 

-UVAC

10-3~10-9

t

 

响应时间

txs·s

1

4.3

25

ms

 

*位置噪音(1δ

δXp·n

1(使用低噪声控制器为0.5)

nm

误差

 

 

 

 

*磁滞

δxp·hyst

≤1

nm

 

*线性度

δxp·lin

≤0.1

≤0.15

≤0.15

%

重复性

 

≤1

nm

 

注意:

这些参数由各转换器实测并提供的。

DP在Z轴方向最大能承受的负载。

②、真实位置噪声。

③、满量程的相对误差。

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