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NM2100电子控制器

NM2100是由纳米传感器,高电压放大器和控制电子元件结合作为一个单一通道的独立模块,供电电压有±15V,130V和-30DV电源。 使用该控制器可提供压电转换器的闭环位置控制,X-Y平台,镜子转向机制等应用。另外,它还应用于开环控制作为压电控制器和纳米传感器。
电子控制器允许用户优化NM2100闭环响应。闭环控制比开环控制在稳定性和线性度上面有了巨大的提高。
型号:
2100 -标准
2100-20 -扩展输出范围(降低至-20V)
2101 -无纳米传感器的屏幕驱动程序

返回列表
  • 亚纳米的分辨率; 

  • 线性度可达0.02%; 

  • 测量带宽可调(50HZ,500Hz或5kHz); 

  • 放大器增益可调(在不必使用满量程的情况下); 

  • 可选择长(“L”)或短(“-S”)测量量程(2pF或10pF电容);

磁盘驱动器磁头测试; 

膜/晶圆夹头对齐; 

扫描探针显微技术; 

光腔调整; 

干涉测量; 


参数

单位

备注

静态参数

 

尺寸

218x77x34

mm

 

供电电压

±15±1@120mA

VDC

 

±120~+130@30mA

VDC

 

-32~-27@30mA

VDC

传感器输出

-5~+5

V

模拟输入范围

-10~+10

V

 

数字输入D/A分辨率

14

Bits

 

纳米传感器动态参数

 

比例因子

0.1~0.01

GV-1

噪音水平(-S)

<0.3

ppmHz-1/2rms

噪音水平(-L)

<0.15

ppmHz-1/2rms

热漂移

5

ppmK-1Typ

预热时间

10

分钟

 

预热漂移

80

ppm

聚苯乙烯扰

10

ppmV-1

线性度

<0.2

%

带宽

50,500,5000±10%

Hz

高压放大器的动态参数(典型值)

 

输出电压(2100)

0~+120

V

 

输出电压(2100-20)

-20~+120

V

 

带宽

5

KHz

模拟输入增益

6

V/V

数字输入增益

7.3

mV/bit

噪音

0.2

mVms

最大电流

50

mA

 

注意:

①、 负电源,仅限于2100-20型号中。

②、 量程可调在内降低性能的情况下。

③、 G就是距离的意思,比例因子是通过侧面面板的选择开关来调整。

④、 PPM是指每百万分之一距离变化。

⑤、 线性误差取决于传感器安装精度0.02%的线性误差是可以实现的。请联系真尚有公司洽谈详情。

⑥、 带宽是通过侧面面板的选择开关来调整。

⑦、 典型的,取决于执行机构。

⑧、 只限于开环控制。

⑨、 一般情况。

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