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NG-A高分辨率纳米编码器

NG-A是用于测量二维超精密的平面位移的测量系统。NG-A是一个XY网格编码器系统,湍流效应是激光干涉仪经常会遇到的,该系统也可以避免与相单独线性尺度关联的阿贝误差。NG-A在制造栅格的过程中,能够保证其达到激光干涉仪的精度,并且以一个更经济的价格、更实用和更坚固的制造工艺来封装它。
XY编码器或者叫栅格,在X和Y方向上以10um的作为基础周期,整个计量系统则以5um的作为测量周期。NG用三相90-element的探测器从栅格中捕捉第一阶的激光通过衍射方式反射过来的信号。这三个信号为极小的移动提供一个非常明确的测量相位。

返回列表
  • 亚纳米的分辨率; 

  • 重复性小于5nm; 

  • 低阿贝误差; 

  • 对湍流效应及大气压强变化不敏感; 

  • 占地面积小,重量轻; 

  • 可选真空版本; 

  • 易于安装,包括栅格安装的应力消除; 

  • 栅格和探头的间隙为12mm; 

  • 对准误差低;

  • 完善的技术支持;可定制;

  • 高精度低成本位置控制;

  • 实时校准; 

  • 精密金刚石车削实验室; 

  • 镜头自动对焦;

NG-A

系统性能

重复性

±5nm

精度(175mm×175mm)*

±200nm

精度(380mm×380mm)*

±1.0μm

*(温度变化±0.25℃)

最大速度

700mm/s

编码器到探头间距

12.0±0.1mm

测量区域
(其它区域可选)

40×45mm, 150×150mm
210×210mm, 380×380mm

工作温度

+10°C~+40°C

存储温度

–20°C~+50°C

NG探头

尺寸

23.5×47.0×60.5mm

外壳材料

6061-T6铝

光源(785nm)

Class IIIb,3mw,激光二极管

重量(不包括线缆)

110g

接口线缆

3m,15针接头

双轴高分辨率处理器

分辨率

LSB = 5μm ÷ 214 ≈0.305 nm

更新频率/轴

375KHz(并行输出)

范围(785nm)

~1300mm(全部32位)

数据传输时间

<8μs;静态<25ns< span="">

接口

25针测试连接头
2个60针并行连接头
PC兼容的16位ISA总线
15针HD连接探头

输出格式

32位并行字

A-quad-B(可选)

边缘频率: 1.875, 3.75, 7.5, 15MHz
   分辨率: 5μm÷2N; N = 9~14;
   ≈0.3~9.8 nm
频率和分辨率可选

机械性

ISA兼容16位PC板

电源(不包括A-quad-B)

+5VDC (+0.25/-0.13 V)@ 2.2 A;
   +12VDC ±0.5V @120 mA;
–12VDC ± 0.5V @70 mA

NG编码器

间距(机械/光学)

10 μm / 5μm

钠钙膨胀系数

7.0 × 10-6/°C

石英(熔石英)膨胀系数

0.7 × 10-6/°C

如果想采用其他材料,请咨询工厂

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