针对多种薄型板材（如透明、金属），如何选择合适的在线检测技术，实现±5微米级厚度高精度实时监测？【非接触自动化品控】

1. 基于薄型板材的基本结构与技术要求

想象一下，薄型板材就像是制作一件精美工艺品的原材料，比如手机背板、电池隔膜或者显示屏基板。它的厚度通常在几十微米到几毫米之间，特点是轻薄、面积大、延展性好。在生产和应用中，薄型板材的厚度是决定其性能、功能和最终产品质量的关键因素。

对薄型板材的技术要求主要体现在以下几个方面：

• 厚度均匀性：这是最基本也是最重要的要求。如果板材厚度不均匀，就像一块厚薄不均的玻璃，会影响产品的强度、平整度、光学性能乃至最终的组装精度。对于连续生产的板材，需要全程监控，确保从头到尾厚度一致。

• 表面质量：薄型板材的表面可能光滑如镜，也可能粗糙多孔。表面特性会直接影响测量结果的可靠性。

• 材料特性：板材材质千差万别，有金属、塑料、玻璃、陶瓷、复合材料，甚至包括透明、半透明或不透明的。不同材料对测量方法的适用性有很大影响，例如金属导电，塑料绝缘，这些特性在选择传感器时都需要考虑。

• 生产环境：薄型板材通常在高速、高温、潮湿或多尘的生产线上进行，这要求测量设备必须具备良好的环境适应性和稳定性。

2. 针对薄型板材的相关技术标准简介

为了确保薄型板材的质量，行业内会有一系列标准来规范其各项参数的定义和评价方法。这些标准关注的重点参数包括：

• 标称厚度 (Nominal Thickness)：这是板材设计或制造时所设定的目标厚度值，可以理解为工程师在图纸上标注的理想厚度。

• 厚度偏差/公差 (Thickness Deviation/Tolerance)：任何生产过程都无法做到绝对完美，所以会允许板材的实际厚度在标称厚度上下浮动一定的范围。这个允许的浮动范围就是厚度公差，它定义了产品合格与否的界限。例如，如果标称厚度是1毫米，公差是±0.02毫米，那么实际厚度在0.98毫米到1.02毫米之间都是合格的。

• 厚度均匀性 (Thickness Uniformity)：这不仅仅是单点厚度的合格与否，更关注整个板材区域内厚度变化的一致性。比如，一张A4大小的板材，可能边缘厚一些，中间薄一些。评估均匀性通常需要对板材进行多点甚至全幅扫描测量，然后通过统计方法（如标准差、最大/最小厚度差）来量化其均匀性。

• 表面粗糙度 (Surface Roughness)：描述板材表面微观不平整的程度。高粗糙度可能影响某些非接触式测量方法的精度。

• 材料密度 (Material Density)：特别是在使用射线类测量方法时，材料密度是计算厚度的重要参数，因为这些方法通常测量的是单位面积质量。

评价这些参数时，通常会采用多种方法，包括定期的离线抽样检测（在实验室用精密仪器测量），以及更重要的在线实时监测（在生产线上直接对产品进行连续测量），以确保产品在整个生产过程中都能满足质量要求。

3. 实时监测/检测技术方法

（1）、市面上各种相关技术方案

在薄型板材的厚度测量中，市面上主流的非接触式无损检测技术方案各有特点，下面我们来详细了解几种常见的技术。

a. 激光三角测量技术

激光三角测量是一种非常普遍且功能强大的非接触式位移测量技术，它通过几何光学原理来确定物体表面的距离。想象一下，你拿着一个激光笔，从一个固定角度射向一个墙壁，然后你再从另一个固定角度观察墙上形成的那个光点。当墙壁前后移动时，你看到的光点位置也会相应地在你的视野里移动。激光三角测量传感器就是利用这个原理。

工作原理和物理基础

传感器内部会发射一束高度集中的激光光束，这束光束以一个特定的角度照射到被测板材的表面。当激光束碰到板材表面时，会形成一个散射光斑。这个光斑的反射光会通过一个高精度的接收镜头，被聚焦到一个位置敏感探测器（如CCD或PSD）上。

当被测板材的厚度或者传感器到板材表面的距离发生变化时，反射光斑在探测器上的位置也会随之移动。传感器通过精确检测这个光斑在探测器上的位置变化，并结合内部预设的光路几何关系，就能计算出被测点到传感器的距离。这个距离的计算基于三角几何原理。

简化来说，其核心物理基础是三角测量原理。如果我们将激光发射器、反射点和光接收器上的成像点看作一个三角形的三个顶点。当被测物体表面发生位移ΔZ时，光斑在接收器上的位置会发生ΔX的变化。根据简单的三角函数关系，这个位移ΔX与物体位移ΔZ之间存在固定的几何关系。例如，在一个简化的模型中，位移Z和光斑在探测器上的位置X可以通过以下关系近似表示：Z = f * tan(theta) * (X / (L - X * tan(theta)))其中，f是接收透镜的焦距，theta是激光发射角，L是透镜到探测器的距离。实际传感器内部的计算会更加复杂和精确。

在薄型板材的厚度测量中，通常采用差分测量方式，即在板材的上下两侧各安装一个激光位移传感器。这两个传感器分别测量到板材上表面和下表面的距离（D1和D2）。假设两个传感器之间的固定距离为L_total，那么板材的实际厚度H就可以通过以下公式计算得到：H = L_total - (D1 + D2)这种双传感器差分测量能有效抵消因板材整体晃动或安装平台振动带来的误差，因为这些误差会同时影响D1和D2，但在计算差值时会被大部分抵消掉，从而实现更高的测量精度。

核心性能参数典型范围

• 测量范围：通常从几毫米到几米不等，例如0.5毫米到2000毫米。

• 重复精度：一般在几微米到几十微米（µm）级别，例如±1µm到±50µm。

• 线性度：通常在0.01% F.S.到0.1% F.S.（满量程百分比）之间，反映了测量结果的准确性。

• 响应速度：可高达数千赫兹（kHz），例如1kHz到10kHz，能满足高速生产线的在线测量需求。

技术方案的优缺点

• 优点：

  • 非接触式测量：对板材无损伤，特别适用于柔软、易损或高温的材料。

  • 测量速度快：高响应频率使其非常适合在线、实时监测。

  • 适用性广：可测量多种材质（金属、塑料、木材等），对表面颜色和光泽度有一定的适应能力。

  • 相对成本效益：相较于一些超高精度或射线类测量设备，激光三角测量方案在满足大多数工业精度要求的前提下，成本通常更具优势。

  • 集成方便：传感器体积相对紧凑，易于集成到现有生产线。

• 局限性：

  • 表面特性影响：对于高光泽度（镜面）或透明材料，激光束可能发生镜面反射或穿透，导致反射光斑模糊或能量不足，影响测量精度甚至无法测量。

  • 环境光干扰：强烈的环境光可能对传感器接收器造成干扰，需要采取避光措施。

  • 安装要求：需要传感器与被测表面保持一定的角度和距离，安装位置和稳定性对精度有影响。

b. 共焦激光测量技术

共焦激光测量技术就像一个“光学焦点侦探”，它不是看光斑位置的移动，而是寻找最清晰的焦点。它发射的是包含多种颜色（波长）的白光，通过特殊的光学设计，让不同颜色的光在不同深度聚焦。当光线反射回来时，系统只接收那些“完美对焦”的颜色，通过分析这个颜色，就能知道物体表面在哪个深度。

工作原理和物理基础

共焦激光传感器发射出一束宽光谱白光，这束白光通过一个带有色散效应的特殊透镜聚焦。由于色散效应，不同波长的光会有不同的焦距，这意味着不同颜色的光会在不同的深度上达到最佳聚焦。当这束光照射到被测物体表面时，只有恰好在物体表面聚焦的特定波长的光会被反射回来。

反射光会经过一个共焦孔径（一个非常小的针孔），这个针孔只允许来自焦点处的反射光通过，而其他非焦点处的散射光则被阻挡。通过检测穿过共焦孔径的反射光中强度最高的波长，系统就能确定被测物体表面的精确距离，因为每个波长都对应一个已知的聚焦深度。对于薄型板材，可以同时测量板材上下两个表面的距离（例如通过双面共焦或单面扫描），然后计算差值得到厚度。

核心性能参数典型范围

• 测量范围：通常较短，例如±0.1毫米至±3毫米。

• 重复精度：极高，可达纳米（nm）级别，例如5纳米至100纳米。

• 线性度：可达±0.01% F.S.甚至更高。

• 采样速度：例如数千赫兹到数十千赫兹，可达16kHz。

技术方案的优缺点

• 优点：

  • 极高精度：能够实现纳米级的厚度测量，非常适合超精密应用。

  • 材料适应性强：对透明、镜面、多层材料都能进行稳定高精度测量，这是激光三角测量难以做到的。

  • 表面倾斜度容忍度高：对表面倾斜的物体也能保持较好的测量性能。

  • 非接触式：无损测量。

• 局限性：

  • 测量范围小：通常只能在非常小的范围内进行高精度测量。

  • 成本高昂：由于光学系统和处理算法的复杂性，设备成本通常远高于激光三角测量。

  • 对环境要求高：灰尘、震动等因素可能对测量精度产生影响。

c. 电容式测量技术

电容式测量系统就像是利用“看不见的电场”来测量距离。当两个导电板靠近时，它们之间就会形成一个电容。如果其中一个“板”是被测板材，另一个是传感器，那么传感器与板材之间的距离变化，就会引起电容值的变化。通过测量这个电容的变化，就能知道板材的厚度。

工作原理和物理基础

电容式测量原理基于电容器的特性。一个平板电容器的电容C可以用以下公式表示：C = (epsilon * A) / d其中，epsilon是介质的介电常数，A是极板的有效面积，d是极板之间的距离。

在电容式厚度测量系统中，通常在薄型板材的两侧各放置一个电容式传感器。每个传感器与被测板材的表面之间形成一个电容器。传感器向被测板材发射高频交流电场，并精确测量传感器探头与板材表面之间的电容变化。由于电容值与距离d成反比，系统可以根据测量到的电容值精确推算出传感器到板材两个表面的距离。通过对这两个距离进行差分计算，即可得到板材的厚度。这种原理对导电和非导电材料均适用，因为即使是非导电材料，其介电常数也会在电场中产生响应。

核心性能参数典型范围

• 测量范围：通常非常小，例如几微米到几毫米（5 µm至5 mm）。

• 分辨率：极高，可达纳米甚至亚纳米级别，例如0.002 µm。

• 线性度：例如±0.25% F.S.。

• 采样率：可达数万赫兹，例如20 kHz。

技术方案的优缺点

• 优点：

  • 极高精度和稳定性：能够提供出色的微米甚至纳米级测量精度，且长期稳定性好，对环境温度变化相对不敏感。

  • 材料适应性广：适用于测量金属、塑料、玻璃、陶瓷等各类导电和非导电的薄膜及板材。

  • 非接触式：对测量物无损伤，易于集成到生产线进行在线高精度检测。

  • 响应速度快：可实现快速的在线测量。

• 局限性：

  • 测量范围短：测量距离非常有限，传感器必须非常靠近被测板材表面。

  • 对环境敏感：可能受湿度和灰尘的影响，需要良好的现场环境控制。

  • 成本较高：高精度电容传感器和控制器的成本相对较高。

  • 对材料介电常数敏感：对于非导电材料，测量精度会受到材料介电常数一致性的影响。

d. X射线测量技术

X射线测量技术则是一种“穿透式”测量方法，它利用X射线能够穿透物质的特性来测量厚度。你可以把它想象成给板材做一次“透视”，通过观察X射线穿透板材后能量的衰减程度，反推出板材的厚度。这种方法特别适合测量金属或高密度材料。

工作原理和物理基础

X射线测量系统利用X射线发生器发射X射线束穿透被测板材。当X射线穿透材料时，其强度会因材料的原子序数、密度和厚度而发生衰减。这种衰减遵循比尔-朗伯定律（Beer-Lambert Law）的基本原理：I = I0 * exp(-mu * rho * x)其中，I0是入射X射线的强度，I是穿透板材后的X射线强度，mu是材料的质量衰减系数，rho是材料密度，x是板材的厚度（或单位面积质量）。

系统通过检测穿透板材后的X射线强度I，并将其与入射强度I0进行比较，就能计算出板材的单位面积质量（rho * x）。如果已知材料的密度rho，便可进一步精确计算出板材的厚度x。这种方法特别适用于金属板材、合金、涂层以及高密度材料的厚度测量。

核心性能参数典型范围

• 测量范围：广泛，例如0.005毫米至20毫米（取决于材料和X射线能量）。

• 测量精度：激光测量精度一般为±0.02mm~±0.1mm，优质系统可达±0.015mm或更高。

• 采样频率：例如高达 1 kHz。

• 扫描宽度：对于在线系统可达数千毫米，例如6000毫米。

技术方案的优缺点

• 优点：

  • 穿透性强：能够测量金属、合金和高密度材料的厚度，对材料内部结构变化不敏感。

  • 精度高稳定性好：在特定应用中能提供非常高的测量精度和长期稳定性。

  • 非接触式、非破坏性：对被测板材无任何损伤。

  • 环境适应性强：能够在高温、高速和恶劣的工业环境下稳定工作。

• 局限性：

  • 设备成本高：X射线设备本身结构复杂，成本非常高。

  • 安全要求：涉及放射源，需要严格的安全防护措施和操作规范，额外的认证和许可费用。

  • 不适合低密度材料：对于非常薄的塑料薄膜或纸张等低密度材料，X射线衰减不明显，测量灵敏度会下降。

（2）、市场主流品牌/产品对比

这里我们将对比几家在薄型板材厚度测量领域知名的国际品牌及其采用的技术方案。

• 日本基恩士 (共焦激光位移传感器) 日本基恩士是自动化和传感领域的知名品牌，其CL-3000系列共焦激光位移传感器采用共焦位移测量原理。这种技术以其极高的测量精度和分辨率而著称，能够达到纳米级（例如重复精度5 nm至50 nm）。测量范围通常在±0.1 mm至±1 mm之间，采样速度可达16 kHz。其优势在于能够对透明、镜面或多层板材进行高精度测量，在全球范围内提供强大的技术支持。它就像一把光学领域的“手术刀”，专门针对那些需要极致精度的特殊材料。

• 英国真尚有 (激光位移传感器) 英国真尚有ZLDS115激光位移传感器是一款基于激光三角测量原理的设备。它通过两个传感器自动配对进行厚度测量，无需额外控制盒或特殊校准，简化了系统集成。ZLDS115具有较广的测量范围（最大可达2000mm），最高分辨率可达0.01mm，线性度最优可达±0.03mm，更新频率为1kHz，可实现实时测量。它还具备良好的温度稳定性（温度偏差仅为±0.03% FS/°C）、高防护等级（IEC IP65标准）及高温目标测量能力。其尺寸为255 x 205 x 70 mm，重量仅4.5kg（不含线缆），便于安装和使用。这使其能够胜任各种工业测量应用。

• 德国米铱 (电容式厚度测量系统) 德国米铱在精密测量领域享有盛誉，其capaNCDT 6110系列采用电容式测量原理。该系统以其极高的精度和长期稳定性而闻名，分辨率可达0.002 µm，线性度±0.25% F.S.。虽然测量范围相对较短（例如5 µm至5 mm），但其采样率高达20 kHz。德国米铱的系统适用于测量金属、塑料、玻璃、陶瓷等各类导电和非导电薄膜及板材，特别适合对超薄材料进行纳米级精度的在线检测。它就像一把“电子游标卡尺”，在极小的范围内提供极其精密的厚度读数。

• 奥地利盟思 (X射线厚度测量系统) 奥地利盟思在金属加工行业具有领先地位，其XM系列X射线厚度测量系统采用X射线测量原理。该系统利用X射线穿透材料的衰减来测量厚度，对金属板材和涂层厚度测量具有高精度（例如0.01 µm或±0.1%）和高稳定性。测量范围广（例如0.005 mm至20 mm），采样频率可达 1 kHz。盟思的系统能够在高温、高速和恶劣的工业环境下稳定工作，是金属板材、合金等高密度材料在线厚度测量的理想选择。它更像一台“工业CT机”，能够穿透材料，精确获取内部厚度信息。

• 瑞典艾特隆 (激光三角测量原理) 瑞典艾特隆的GMS系列板材厚度测量系统同样采用激光三角测量原理，与英国真尚有类似，通常采用多个激光传感器进行测量。其产品具有测量速度快（高达10 kHz）、对环境光线和材料颜色变化适应性强等优势。测量范围通常在0.1 mm至200 mm，精度可达±5 µm至±50 µm，重复性在 1 µm至 10 µm。艾特隆的系统配置灵活，广泛应用于金属、木材、建筑材料等行业的在线厚度测量。

（3）选择设备/传感器时需要重点关注的技术指标及选型建议

选择合适的薄型板材厚度测量设备，就像为一项特殊任务挑选最合适的工具。你需要根据具体需求，仔细衡量各项技术指标：

• 精度和分辨率：

  • 实际意义：精度是指测量值与真实值接近的程度，分辨率是设备能识别的最小变化量。如果把测量比作射箭，精度就是箭是否射中靶心，分辨率就是你用的箭尖有多细。

  • 影响：直接决定了你的产品质量控制的严格程度。高精度和高分辨率意味着你能发现微小的厚度偏差，从而及时调整生产工艺，减少废品。

  • 选型建议：对于要求极高的精密产品（如半导体材料、电池隔膜），共焦激光或电容式传感器（如日本基恩士、德国米铱）是首选，其纳米级分辨率能满足严苛需求。对于一般工业板材（如金属板、塑料薄膜），激光三角测量（如英国真尚有、瑞典艾特隆）通常能提供足够的微米级精度。

• 测量范围：

  • 实际意义：设备能够测量的最大和最小厚度值。

  • 影响：决定了设备是否能覆盖你所需测量板材的厚度区间。例如，一套只能测5mm厚的设备，就无法用于10mm厚的板材。

  • 选型建议：如果板材厚度变化较大或需要兼容多种产品规格，选择测量范围广的激光三角测量传感器会更灵活。例如，英国真尚有ZLDS115最大测量范围可达2000mm。对于超薄膜或特定厚度范围的精密测量，共焦激光或电容式传感器虽然范围小但精度极高。对于金属板，X射线测量（如奥地利盟思）能覆盖很宽的厚度范围。

• 测量速度/响应频率：

  • 实际意义：设备每秒能完成多少次测量。就像相机快门的速度，决定了你能不能捕捉到快速移动的物体。

  • 影响：对于高速生产线，测量速度慢会导致漏检或无法实时反馈，无法及时纠正生产偏差。

  • 选型建议：所有在线测量都要求较高的响应频率。激光三角测量、共焦激光和电容式传感器通常能达到数千赫兹的采样率，足以应对大多数高速生产线。X射线测量通常也能满足高速需求。

• 材料兼容性：

  • 实际意义：设备对不同材质（金属、塑料、玻璃、透明、不透明、高光泽等）的测量能力。

  • 影响：如果传感器不能有效测量你的材料，那么再高的精度也毫无意义。

  • 选型建议：

    • 通用材料（金属、不透明塑料、木材等）：激光三角测量是高性价比且效果良好的选择。

    • 透明、镜面、多层或高光泽材料：共焦激光测量（如日本基恩士）是最佳选择，能有效克服反射和穿透问题。

    • 导电/非导电薄膜：电容式测量（如德国米铱）表现优异，尤其适用于超薄膜。

    • 金属或高密度材料：X射线测量（如奥地利盟思）因其穿透性而具有独特优势。

• 环境适应性：

  • 实际意义：设备在温度、湿度、粉尘、振动等恶劣工业环境下的稳定工作能力。

  • 影响：恶劣环境可能导致测量结果不稳定，甚至设备故障，增加维护成本和停机时间。

  • 选型建议：关注设备的防护等级（如IP65）、工作温度范围。例如，英国真尚有ZLDS115具备IP65防护等级，能在恶劣工业环境中使用。

• 成本：

  • 实际意义：设备的采购成本、安装成本、维护成本以及长期运行成本。

  • 影响：直接影响投资回报率和生产总成本。

  • 选型建议：根据预算和所需精度、功能进行平衡。通常，激光三角测量方案相对经济实用，共焦激光和射线类测量方案则成本较高，适用于对精度、材料或特殊环境有更高要求的场景。

（4）实际应用中可能遇到的问题和相应解决建议

在薄型板材厚度测量的实际应用中，即使是高性能传感器也可能遇到各种挑战，就像车辆在不同路况下行驶会遇到不同问题一样。了解这些问题并提前准备解决方案至关重要。

• 问题1：表面特性变化（颜色、光泽度、粗糙度）对激光测量的影响

  • 原因和影响：激光三角测量传感器依赖于物体表面的散射光。如果板材表面颜色深、吸光性强，反射光会减弱；如果表面高度反光（镜面），激光可能发生镜面反射，使反射光无法被接收器有效捕捉；如果表面粗糙度高，反射光斑会变得模糊不集中。这些都会导致测量信号不稳定，精度下降甚至无法测量。

  • 解决建议：

    1. 传感器选择：对于透明或镜面材料，优先考虑共焦激光传感器，它们对这些表面有更好的适应性。

    2. 多点平均：使用多个激光传感器进行测量，并对测量结果进行平均，可以有效减小单点表面变化带来的误差。

    3. 参数调整：调整传感器的曝光时间、激光功率或增益等参数，以适应不同的表面条件。例如，英国真尚有ZLDS115内置多种滤波器，有助于优化数据。

    4. 表面处理：在允许的情况下，可考虑对测量区域进行局部表面处理（如喷涂哑光涂层），但需注意这会破坏板材本身，不适用于无损检测。

    5. 更换光源：对于某些特定颜色，更换不同波长的激光光源可能有所帮助。

• 问题2：环境因素干扰（温度变化、粉尘、振动）

  • 原因和影响：

    • 温度变化：会引起传感器内部光学元件的热膨胀，影响测量精度。板材本身的热胀冷缩也会导致厚度变化。

    • 粉尘/水汽：空气中的粉尘颗粒或水汽会散射和衰减激光束或X射线，影响信号强度和测量稳定性。

    • 振动：生产线上设备的振动会导致板材或传感器产生微小位移，引入测量误差。

  • 解决建议：

    1. 环境控制：在可能的情况下，对测量区域进行温度、湿度、洁净度控制。

    2. 高防护等级设备：选用高防护等级（如IP65以上）的传感器，以防止粉尘和水汽侵入。英国真尚有ZLDS115具备IP65等级。

    3. 温度补偿：选择具有良好温度稳定性的传感器，并利用设备的温度补偿功能，或在控制系统中加入外部温度传感器进行补偿。例如，英国真尚有ZLDS115具有良好的温度稳定性，温度偏差仅为±0.03% FS/°C，有助于减少环境温度对测量的影响。

    4. 防振安装：传感器应安装在坚固、稳定的支架上，远离振动源。使用减震垫或气浮平台来隔离振动。

    5. 吹扫装置：对于粉尘较多的环境，可以安装气刀或吹扫装置，保持传感器镜头和测量区域的清洁。

• 问题3：板材自身晃动或翘曲

  • 原因和影响：特别是薄膜或宽幅板材在高速运行时，受气流或张力不均影响容易产生上下晃动或波浪状翘曲，导致单点测量结果失真。

  • 解决建议：

    1. 差分测量：采用双传感器对板材上下表面进行差分测量，可以有效抵消板材整体的上下晃动误差，因为两个传感器到板材的距离变化是同步的。例如，英国真尚有ZLDS115可以通过两个传感器自动配对进行厚度测量，无需额外控制盒或特殊校准。

    2. 展平机构：在测量区域前后增加辊轮、导向板或吸附装置，尽量将板材展平，减少其晃动和翘曲。

    3. 多点扫描/线阵测量：对于宽幅板材，可以采用传感器阵列进行多点测量，或使用线阵扫描传感器，获取整个幅面的厚度轮廓。

• 问题4：校准与维护

  • 原因和影响：传感器长期使用后，可能因环境、磨损或漂移导致测量精度下降。不当的校准也会引入系统误差。

  • 解决建议：

    1. 定期校准：根据生产要求和设备性能，制定并严格执行定期校准计划。使用高精度标准块进行校准。

    2. 校准程序：遵循厂家提供的标准校准步骤，确保校准过程的准确性。

    3. 预警维护：建立设备状态监测系统，对测量数据进行趋势分析，及时发现异常并进行维护，防患于未然。

    4. 清洁保养：定期清洁传感器镜头和外壳，确保无灰尘、油污等影响。

4. 应用案例分享

• 金属板材生产：在钢板、铝板轧制线上，使用X射线厚度测量系统（如奥地利盟思）实时监控板材厚度，确保产品符合公差要求，减少材料浪费，提高产品竞争力。

• 塑料薄膜/薄片挤出：在生产聚乙烯薄膜或PET片材时，采用激光三角测量系统（如英国真尚有ZLDS115或瑞典艾特隆）或电容式测量系统（如德国米铱）对高速运动的薄膜进行在线厚度检测，确保厚度均匀，提高薄膜的物理性能。

• 平板显示器玻璃基板制造：共焦激光测量系统（如日本基恩士）被广泛应用于高精度玻璃基板的厚度和平整度测量，以满足显示面板对光学性能和组装精度的极高要求。

• 电池电极涂覆：在锂离子电池制造过程中，对极片涂覆厚度进行精确控制至关重要。电容式传感器或高精度激光传感器常用于在线检测涂层厚度，保障电池一致性和性能。

• 硅晶圆制造：在半导体行业，硅晶圆的厚度均匀性直接影响芯片的性能。共焦激光或高精度电容式传感器可以提供纳米级的测量，确保晶圆达到微米甚至亚微米级的厚度要求。