如何在双层玻璃生产线上实现亚微米级厚度、空隙层及平行度的非接触式高速检测，突破折射率与倾斜度限制？【自动化品控】

1. 双层玻璃的基本结构与技术要求

想象一下，你手中的智能手机屏幕、家里的落地窗，或者办公室里的隔音玻璃，它们通常不是一块简单的玻璃，而是由多层材料精心组合而成的。我们这里说的双层玻璃，最常见的结构就是两片玻璃板之间夹着一层空气或者惰性气体（比如氩气），并用密封胶条固定。这样的结构主要是为了实现隔热、隔音等功能。

对于双层玻璃而言，我们需要关注的“健康指标”非常多，不仅仅是它的总厚度。更重要的是：* 单层玻璃厚度：每一片玻璃有多厚？这影响到整体强度和光学性能。* 中间空隙层厚度：两片玻璃之间的距离有多大？这个空隙是隔热隔音的关键，它的均匀性直接决定了效果好坏。* 总厚度：整个双层玻璃组件的总厚度是多少？这关系到它能否正确安装到设计好的框架中。* 平行度：两片玻璃的表面是否相互平行？空隙层是否均匀？如果不平行，光学畸变和隔热性能都会受影响。* 平面度：玻璃表面是否平整？不平整会导致视觉扭曲。

在制造过程中，这些尺寸参数的微小偏差都可能导致产品性能下降，甚至报废。因此，在生产线上实现高精度、非接触的实时检测，对保障产品质量至关重要。

2. 双层玻璃的相关技术标准简介

为了确保双层玻璃的质量和性能，行业内会对多种参数进行定义和评估，以保证产品符合设计要求和使用功能。以下是一些常见的监测参数及其评价方法：

• 标称厚度 (Nominal Thickness)：这是设计图纸上给定的玻璃层或空隙层的目标厚度值。

• 实际厚度 (Actual Thickness)：通过精密测量设备得到的玻璃层或空隙层的实际尺寸。评价时通常会与标称厚度进行比较，看是否在允许的公差范围内。

• 总厚度 (Total Thickness)：整个双层玻璃组件从最外表面到最外表面的总尺寸。评价方法是测量两个最外表面的距离。

• 厚度均匀性 (Thickness Uniformity)：指玻璃层或空隙层在不同位置的厚度一致性。评价方法通常是在多个离散点进行测量，然后计算最大与最小厚度之间的差异，或者通过统计方法（如标准差）来评估波动。

• 总厚度变化 (TTV - Total Thickness Variation)：这是一个更全面的评估指标，指在整个测量区域内，部件最大厚度与最小厚度之间的差值。它反映了整体的平整度和厚度一致性，对光学元件尤其重要。

• 平行度 (Parallelism)：衡量两片玻璃表面之间是否相互平行。评价方法可以通过测量多个点的空隙厚度，然后计算这些厚度值的差异或角度偏差来获得。

• 平面度 (Flatness)：衡量玻璃表面相对于一个理想平面的偏离程度。通常通过扫描整个表面并获取三维形貌数据来评估，可以得到最大高低差或均方根粗糙度等指标。

这些参数的精确测量是生产过程中的关键环节，能有效指导生产调整，保证产品质量。

3. 实时监测/检测技术方法

双层玻璃的高精度非接触检测是一个复杂的技术挑战，市面上存在多种先进的测量技术，它们各有优缺点，适用于不同的应用场景。

3.1 市面上各种相关技术方案

3.1.1 光谱共焦测量技术

光谱共焦技术，就像给白光戴上了一副“多色眼镜”，让不同颜色的光线（不同波长）聚焦在不同的深度上。当一束包含所有颜色的白光射向透明材料，比如双层玻璃时，由于玻璃的折射作用，不同波长的光线会在玻璃内部或表面形成不同的焦点。

工作原理与物理基础：该技术的核心在于利用光的色散效应。系统发出一束宽带白光（包含多种波长），通过一个高数值孔径的物镜，光束会因色散而在轴向产生一系列不同波长的焦点。这意味着，红光可能聚焦在较远的位置，蓝光可能聚焦在较近的位置，形成一个“光谱焦点序列”。

当光线照射到被测物体表面时，只有特定波长的光线能精确聚焦并从表面反射回来。这些反射光穿过一个共焦针孔，只有焦点位置恰好与针孔位置重合的波长光线才能通过并被探测器接收。通过分析探测到的反射光的波长峰值，系统就能确定被测表面的精确距离。

对于双层玻璃这类多层透明介质，光线会从每一个界面（如空气-玻璃、玻璃-空气、玻璃-空气、空气-玻璃）发生反射。每个界面都会产生一个反射信号，并在光谱中形成一个强度峰值。系统通过识别这些独立的峰值及其对应的波长，可以精确地计算出每个界面的距离。

假设光线在介质中传播的距离为d，介质的折射率为n，则光的实际光程（Optical Path Length, OPL）为 OPL = n * d。光谱共焦系统首先测量的是光程。对于透明材料的厚度测量，其关键公式涉及到光程与物理厚度的关系：物理厚度 = 光程差 / 折射率

更具体地说，如果传感器测量到从介质1的表面到介质2的表面的光程差为 ΔOPL，并且已知介质的折射率为 n，那么介质的物理厚度 d 可以计算为：d = ΔOPL / n

突破折射率瓶颈： 传统上，要从光程测量结果中获取物理厚度，必须准确知道材料的折射率n。一些先进的光谱共焦系统通过内部算法与校准、多点测量与几何推算或高级信号处理等方式突破了这一瓶颈，使得用户无需手动输入折射率也能实现精确测量。

核心性能参数（典型范围）：* 精度：可达±0.01μm至±0.3μm。* 分辨率：通常在纳米级，例如0.005µm（5nm）甚至更高。* 测量速率：从几kHz到高达70kHz。* 最小可测厚度：可低至5μm。* 最大可测倾角：标准型号可达±20°，特殊设计可达±45°。

技术方案的优缺点：* 优点： * 高精度与高分辨率：尤其适合微米、纳米级别的精密测量。 * 多层测量能力：能够穿透透明材料，一次性识别多个界面，测量各层厚度。 * 非接触无损：避免对玻璃表面造成损伤。 * 多材质适应性：不仅限于玻璃，也能测量金属、陶瓷、镜面等多种材质。 * 抗干扰能力强：对表面反射特性不敏感，适合在线检测。 * 无需已知折射率：先进系统可内部处理，简化用户操作。* 缺点： * 对表面倾斜度有要求：反射型测量对倾斜角有一定限制，但有特殊探头可扩展。 * 价格较高：相对于一些接触式或简单的光学测量方法，设备成本相对较高。* 适用场景：3C电子（手机屏幕、摄像头玻璃）、半导体（晶圆厚度）、光学镜片、新能源电池盖板等需要高精度厚度、位移和表面形貌测量的场合。

3.1.2 激光三角测量技术

激光三角测量是一种常见的非接触距离测量技术，其工作原理类似于我们通过双眼观察物体来判断距离。

工作原理与物理基础：传感器发射一束激光，照射到被测物体的表面形成一个光斑。从光斑处反射（或散射）回来的光线，经过接收透镜的汇聚，会投射到一个位置敏感探测器（如CMOS图像传感器）上。当被测物体的位置发生变化时，反射光斑在探测器上的位置也会随之移动。通过精确测量光斑在探测器上的位移，并结合激光发射器、接收透镜和探测器之间的几何关系（形成一个三角形），就可以计算出物体与传感器之间的距离。

其基本几何关系通常可以用以下简化公式表示：距离 Z = (基线长度 B * 焦距 f) / (探测器上的光斑位移 X)这个公式是基于相似三角形原理的简化，实际计算会更复杂，考虑到透镜畸变和线性化等因素。

对于双层玻璃，激光三角法通常测量的是最外层的表面距离。要测量内部层厚度，可能需要特殊设置，例如通过识别不同界面的散射光（如果内部界面有微弱散射）或者从侧面进行扫描。

核心性能参数（典型范围）：* 精度：微米级，例如±0.05% of F.S. (满量程)。* 分辨率：亚微米级，可达0.005µm。* 采样速度：高达20kHz至50kHz，适合高速在线检测。* 测量范围：从几毫米到数十毫米不等。

技术方案的优缺点：* 优点： * 高速测量：采样速度快，适合在线检测。 * 对漫反射表面适应性好：适用于金属、塑料、磨砂玻璃等表面。 * 结构相对简单：易于集成。* 缺点： * 对透明材料测量能力有限：激光会穿透玻璃，导致反射信号弱或不清晰，难以直接测量内部界面。通常只能测量外表面。 * 受表面颜色和反射率影响：不同颜色和反射率的表面可能影响测量稳定性。 * 遮挡效应：当被测物体有陡峭边缘或深孔时，可能会发生遮挡，导致测量盲区。* 适用场景：金属件、不透明塑料件的厚度、位移、高度差测量，以及双层玻璃外表面的总距离测量。

3.1.3 白光干涉测量技术

白光干涉技术是一种利用光波干涉原理进行超高精度表面形貌和薄膜厚度测量的技术，其精度可以达到纳米甚至亚纳米级别。

工作原理与物理基础：该技术通常采用宽带白光（如卤素灯或LED）作为光源。光束通过分光器被分成两路：一路射向被测物体表面（物光），另一路射向一个高精度参考镜（参考光）。这两路光从各自表面反射回来后，再次汇合产生干涉条纹。

白光干涉的特点是只有当物光和参考光的路径差非常小（通常在几微米范围内）时，才能观察到明显的干涉条纹。当路径差为零时，干涉条纹的对比度最高（称之为“零级条纹”）。通过精确地垂直扫描被测表面（或参考镜），仪器能够捕获在不同高度处的干涉图样，并通过分析这些图样的包络峰值，可以高精度地重建被测表面的三维形貌。

对于透明材料的厚度测量，光线会从透明材料的多个界面（如薄膜的上下表面）产生反射。每个界面都会产生一个干涉峰，系统通过识别这些峰值之间的距离，结合材料的折射率，来计算薄膜的厚度。

厚度计算的基本公式为：物理厚度 d = (m * λ_c) / (2 * n)其中，m 是干涉条纹级数（从零级条纹到目标干涉条纹的计数），λ_c 是白光的中心波长，n 是材料的折射率。实际上，系统会测量两个反射界面的“光程差”，然后除以折射率得到物理厚度。

核心性能参数（典型范围）：* 垂直分辨率：可达0.1 Å (原子级)，即0.01nm。* 垂直测量范围：从几微米到数毫米，甚至可达20mm。* 重复性：通常优于纳米级。* 视场范围：根据物镜倍率和扫描范围而异。

技术方案的优缺点：* 优点： * 极致的纳米级测量精度：尤其适用于表面粗糙度、波纹度及微观形貌的超高精度测量。 * 可测量透明薄膜厚度：能够穿透薄膜识别多层界面。 * 非接触无损：不会损伤被测物体。* 缺点： * 测量速度相对较慢：通常需要扫描过程，不适合高速在线检测。 * 对环境振动敏感：超高精度决定了其对环境要求较高。 * 成本较高：设备通常价格昂贵。 * 受表面反射率影响：对于非常弱的反射或高吸收材料可能效果不佳。* 适用场景：半导体晶圆、光学镜片、精密加工表面、MEMS器件等高精度表面形貌和薄膜厚度测量，通常用于实验室或高精度离线检测。

3.1.4 太赫兹时域光谱测量技术

太赫兹时域光谱（THz-TDS）技术利用太赫兹波对许多非极性非导电材料的良好穿透性，实现对多层材料的非接触、无损厚度测量。

工作原理与物理基础：系统发射持续时间极短（皮秒量级）的太赫兹脉冲。当这些太赫兹波穿透被测双层玻璃时，每当遇到不同介质的界面（例如玻璃与空气、玻璃与玻璃），都会发生部分反射和透射。这些反射回来的太赫兹脉冲被探测器接收。

由于太赫兹波在不同介质中的传播速度不同，从不同界面反射回来的脉冲会到达探测器产生时间延迟。通过精确分析这些反射脉冲之间的时间延迟（Δt）以及它们的振幅衰减，结合材料的折射率n（太赫兹波段的折射率），就可以计算出每层玻璃的物理厚度d。

厚度计算公式为：物理厚度 d = (c * Δt) / (2 * n)其中，c 是真空中的光速，Δt 是从两个相邻界面反射脉冲之间的时间延迟，n 是该介质在太赫兹波段的折射率。分子中的2是因为脉冲穿过介质并反射回来，走了两次厚度。

核心性能参数（典型范围）：* 测量范围：典型可达数毫米至数厘米。* 厚度分辨率：通常在微米级别，例如±1µm。* 测量速率：可达kHz级别，适合在线检测。* 穿透深度：取决于材料对太赫兹波的吸收率，通常对非极性材料有良好穿透性。

技术方案的优缺点：* 优点： * 独特的非接触、无损分层测量能力：对许多透明和半透明多层材料（如双层玻璃、塑料、涂层）具有优异的穿透能力。 * 不受材料颜色影响：太赫兹波长远大于可见光，对材料的颜色不敏感。 * 无电离辐射：对人体和环境安全。 * 适用于高速在线检测。* 缺点： * 设备成本高：太赫兹系统通常昂贵。 * 对水蒸气敏感：太赫兹波容易被水蒸气吸收，可能影响测量精度，需要控制环境湿度。 * 材料数据库需求：需要知道被测材料在太赫兹波段的折射率。* 适用场景：双层玻璃、多层涂层、塑料薄膜、复合材料、无纺布等透明或不透明可见光材料的厚度测量和缺陷检测。

3.2 市场主流品牌/产品对比

这里我们对比几家国际主流品牌在双层玻璃厚度测量领域的解决方案，它们采用了不同的技术路线：

• 德国微米尺：

  • 采用技术：光谱共焦测量。

  • 核心性能参数：例如，测量范围可达2mm或5mm，分辨率最高可达0.005 µm (5nm)，线性度可达±0.3 µm，测量速率高达70 kHz。

  • 应用特点与独特优势：德国微米尺是光谱共焦技术的领导者之一，其产品在透明和半透明材料的多层厚度测量方面表现出色，抗干扰能力强，能够实现高精度在线检测，产品稳定可靠。

• 英国特拉赫兹：

  • 采用技术：太赫兹时域光谱（THz-TDS）。

  • 核心性能参数：测量范围典型可达数毫米至数厘米，厚度分辨率通常在±1 µm左右，测量速率可达kHz级别。

  • 应用特点与独特优势：英国特拉赫兹在太赫兹技术应用领域处于领先地位。其系统对透明和半透明多层材料（如双层玻璃）具有独特的非接触、无损分层测量能力，测量结果不受材料颜色影响，非常适合高速、在线的工业生产线厚度质量控制。

• 日本基恩士：

  • 采用技术：激光三角测量。

  • 核心性能参数：例如，测量范围50 ±15 mm，分辨率可达0.005 µm (5nm)，线性度可达±0.05% of F.S.，采样速度20 kHz（最高50 kHz）。

  • 应用特点与独特优势：日本基恩士以其极高的测量精度和稳定性而闻名。其激光三角测量系统具有高速采样能力，适合快速在线检测，操作界面用户友好，软件功能强大，在全球市场占有率高，技术支持完善。虽然主要适用于不透明材料表面，但在特定配置下也能用于双层玻璃外表面距离测量。

• 美国泰勒霍布森：

  • 采用技术：白光干涉测量。

  • 核心性能参数：垂直分辨率可达0.1 Å (原子级)，垂直测量范围可达20 mm，重复性通常优于纳米级。

  • 应用特点与独特优势：美国泰勒霍布森在精密计量领域享有极高声誉。其白光干涉测量仪提供极致的纳米级测量精度和重复性，尤其擅长于表面粗糙度、波纹度及微观形貌的测量，也适用于测量透明薄膜厚度，主要应用于实验室和部分离线高精度检测。

• 瑞典海克斯康：

  • 采用技术：影像测量系统。

  • 核心性能参数：测量行程X, Y, Z轴例如400x400x300 mm，测量精度（E1）MPEE1= (1.8+L/250) µm（依据ISO 10360-7标准），光学放大倍率可变。

  • 应用特点与独特优势：瑞典海克斯康的影像测量机具有强大的多功能性，能够进行高精度二维和准三维尺寸测量。它通过高分辨率摄像头和先进的图像处理软件，精确识别玻璃边缘和层间界面，适用于复杂零件的批量检测和质量控制，并且是非接触测量，对玻璃无损伤。

此外， 英国真尚有的EVCD系列光谱共焦位移传感器，采用彩色激光光源，光强稳定性高，结合其多层测量能力和无需已知折射率即可直接测量透明材料厚度的特点，也为双层玻璃的精确测量提供了一种解决方案。该系列传感器采样频率最高可达33,000Hz，分辨率最高可达1nm，线性精度最高可达±0.01%F.S.，部分型号精度可达±0.01μm，能够满足高精度测量需求。其最小探头外径仅3.8mm，也使其能够应用于狭小空间的测量。

3.3 选择设备/传感器时需要重点关注的技术指标及选型建议

选择合适的测量设备，就像为一项特殊任务挑选最合适的工具。你需要根据任务的难度、所需的精度、环境条件和预算来决定。对于双层玻璃厚度的高精度非接触检测，以下技术指标至关重要：

1. 分辨率 (Resolution)：

   • 实际意义：传感器能够识别的最小尺寸变化。就像照片的像素一样，分辨率越高，能看到的细节就越清晰。1nm的分辨率意味着能区分10亿分之一米的厚度变化。

   • 影响：直接决定了你测量的精细程度。在要求极高精度的双层玻璃制造（如手机盖板玻璃、AR/VR镜片）中，高分辨率是不可或缺的。

   • 选型建议：如果你的产品公差在微米甚至亚微米级别，必须选择纳米级分辨率的传感器。

2. 精度 (Accuracy)：

   • 实际意义：测量结果与真实值之间的接近程度。分辨率是能看到多小的变化，精度是能多准地看到这个变化。比如一个传感器分辨率很高，但如果它不准，每次读数都会偏离真实值。

   • 影响：直接关系到测量结果的可靠性。低精度可能导致误判，把合格品判为不合格，或把不合格品判为合格。

   • 选型建议：根据你的产品公差要求，选择线性精度（通常以±%F.S.或固定数值如±0.01μm表示）足够高的传感器。对于双层玻璃，考虑到多界面、材料差异，需要精度能覆盖所有可能误差的设备。

3. 测量量程 (Measuring Range)：

   • 实际意义：传感器能够有效测量距离的范围。就像尺子的长度，能量程太短，就测不了大尺寸；量程太长，可能在小尺寸上精度不够。

   • 影响：决定了传感器能够适应的玻璃厚度范围以及测量平面度时的Z轴高度波动。

   • 选型建议：需要根据你双层玻璃的总厚度、单层玻璃厚度以及可能的高度变化范围来选择合适的量程。量程过小会超出测量范围，过大会牺牲部分精度。

4. 采样频率 (Sampling Frequency)：

   • 实际意义：传感器每秒能够采集多少个测量点。就像摄像机的帧率，频率越高，在相同时间内能捕捉到的信息越多。

   • 影响：直接关系到检测效率和对高速运动物体的适应性。在自动化生产线上，高的采样频率意味着更快的检测速度和更高的生产吞吐量。

   • 选型建议：如果是在线高速检测，或者需要快速扫描整个玻璃表面获取大量数据，那么30kHz甚至更高的采样频率是必要的。

5. 光斑尺寸 (Spot Size)：

   • 实际意义：测量光束在物体表面形成的有效光点大小。

   • 影响：小光斑适合测量微小特征、狭窄区域或陡峭的边缘；大光斑则对表面粗糙度、微小缺陷不敏感，更适合测量平均厚度。

   • 选型建议：如果需要测量玻璃边缘或内部微小缺陷，应选择较小的光斑。如果主要关注大面积的平均厚度或避免局部划痕影响，较大的光斑可能更合适。

6. 最大可测倾角 (Maximum Measurable Tilt Angle)：

   • 实际意义：传感器能够稳定测量被测物体表面倾斜的最大角度。

   • 影响：决定了传感器对不平整或倾斜放置的玻璃的适应性。倾角过大可能导致反射信号丢失或测量不准确。

   • 选型建议：在实际生产中，玻璃通常不是完美水平的。如果被测物在运动中容易发生晃动或有设计上的斜面，选择具备大倾角测量能力的传感器可以有效提高测量的稳定性和通过率。

7. 多层测量能力与折射率处理：

   • 实际意义：能否穿透透明材料并识别多个内部界面，以及是否需要用户提供准确的折射率。

   • 影响：对于双层玻璃，这是核心功能。如果不能识别多层，就无法分别测量单层厚度和空隙层厚度。如果需要精确的折射率，而实际玻璃批次间有差异，将影响测量精度。

   • 选型建议：务必选择具有多层测量能力（例如识别多层不同介质）且能够“无需已知折射率即可直接测量”或对折射率变化不敏感的系统，这能极大地简化操作并提高测量鲁棒性。

3.4 实际应用中可能遇到的问题和相应解决建议

在实际应用中，即使选择了先进的传感器，也可能遇到各种挑战，影响双层玻璃的检测效果。

1. 问题：玻璃表面脏污或划痕

   • 原因及影响：灰尘、油污、指纹或轻微划痕会改变玻璃表面的光学特性，导致反射信号不稳定、信号强度衰减，甚至产生错误的反射峰，从而影响厚度测量的准确性。

   • 解决建议：

     • 清洁流程：在测量前增加专业的玻璃清洁工序，确保表面洁净。

     • 信号处理：利用传感器内置的数据优化功能，可以一定程度上平滑数据，滤除由局部脏污引起的异常峰值。

     • 优化光斑：在允许的范围内，适当选择稍大一点的光斑尺寸，可以平均掉微小局部缺陷的影响。

2. 问题：玻璃折射率波动或不确定

   • 原因及影响：不同批次、不同生产商的玻璃，其材料成分可能存在微小差异，导致折射率略有波动。如果传感器需要精确的折射率进行厚度计算，这种波动会引入系统误差。

   • 解决建议：

     • 选择智能传感器：优先选择那些宣称“无需已知折射率即可直接测量透明材料厚度”的光谱共焦传感器，它们内部算法可以处理或补偿折射率的影响。

     • 定期校准：针对特定批次的玻璃，进行一次校准，获取准确的折射率或建立厚度修正模型。

     • 折射率测量：如果条件允许，可引入独立的折射率测量设备，为厚度测量提供更精确的输入参数。

3. 问题：玻璃倾斜或振动

   • 原因及影响：在高速生产线上，玻璃可能无法完全平稳或水平地传输。倾斜会导致反射光无法完全返回接收器，降低信号质量；振动则会导致测量结果跳动，降低稳定性。

   • 解决建议：

     • 大倾角传感器：选用具有较大最大可测倾角（例如±45°）的传感器，可以容忍更大的倾斜角度。

     • 稳定夹具/平台：优化工装夹具或传输机构，减少玻璃的倾斜和振动。

     • 多点测量与数据融合：同时使用多个传感器进行测量，然后通过软件算法进行数据融合和姿态修正，可以提高整体的测量稳定性和精度。

     • 高采样频率：对于微小振动，高采样频率的传感器可以捕捉到更密集的瞬时数据，通过数据平均或滤波来消除振动引起的高频噪声。

4. 问题：多层界面识别困难或信号串扰

   • 原因及影响：当双层玻璃中的各层厚度非常接近，或者层间反射信号较弱时，传感器可能难以清晰地区分不同的界面，导致测量错误或遗漏。

   • 解决建议：

     • 高数值孔径物镜：选择配备高数值孔径物镜的传感器，可以提高系统的轴向分辨率，从而更好地分辨相邻的反射峰。

     • 高级信号处理算法：利用传感器软件内置的峰值识别、去卷积等高级算法，增强对微弱或重叠信号的解析能力。

     • 优化光斑：对于某些情况，适当调整光斑大小可能有助于信号区分。

4. 应用案例分享

• 3C电子：在智能手机、平板电脑和显示屏的制造中，双层盖板玻璃的厚度、层间空隙和整体平面度至关重要。光谱共焦传感器可以精确测量手机摄像头保护玻璃、显示屏多层玻璃的各层厚度，确保产品装配精度和光学性能。

• 半导体：在晶圆制造和封装过程中，对多层薄膜或玻璃基底的厚度、平整度以及沟槽深度有极高要求。光谱共焦传感器能穿透透明介质，实现晶圆厚度、翘曲度和多层堆叠结构的分层检测。

• 光学镜片：用于测量各类光学镜片（如蓝玻璃、透镜）的厚度、弧高和平面度。这对于保证镜片的光学一致性和成像质量至关重要。

• 新能源：在锂电池生产中，对电池盖板玻璃的厚度、均匀性以及电池内部涂层、隔膜厚度的一致性有着严格要求。光谱共焦技术可以实现非接触、高精度的快速测量，保障电池的性能和安全。

选择哪种技术和品牌的设备，最终取决于您的具体应用需求、预算和对性能指标的侧重。建议在选择前进行充分的测试和评估，以确保所选设备能够满足您的实际测量需求。