光刻机中需要检测其结构的形变，这就需要一种高分辨率应变感应，以校正机械装置的纳米振动。
其测量方式如下：在片上非平衡马赫-曾德尔干涉仪（MZI）中即PGR中插入一个与pi位移FBG对准的扫描窄线宽激光器。MZI用作波长跟踪器，可以同时测量光功率；根据该信息，可以生成光谱，并且可以高精度确定FBG波长。因为扫描激光器是窄线宽激光器，这意味着调制期间的波长噪声很低。但是当我们使用非波长校正算法时，线宽“噪声”会导致白噪声基底。使用PGR可以测量这些微小的偏差，并在应变/温度测量中进行补偿。可以测量高达0.2nε的应变值，可以用应变噪声的功率谱密度表示。