在自动化边缘位置测量中,我们通常关注的是大尺寸物体,例如汽车零部件(车身面板、门框)、大型结构件(钢轨、航空部件)、板材(金属板、玻璃板)或者各种加工件。这些物体通常具有以下结构特征:
尺寸大、形状复杂: 它们的长度、宽度或高度可能达到米级甚至更长,且可能包含复杂的曲面、弧度、孔洞、倒角和焊接缝等特征。
表面多样性: 表面可能平整光滑,也可能粗糙不平;可能是高反光的金属材质,也可能吸光的黑色橡胶,甚至是透明或半透明材料。
针对这类大尺寸物体进行厚度和高度测量,技术要求往往非常严苛:
高精度: 要求达到±10μm的测量精度。这就像在几十米长的跑道上测量误差不能超过一根头发丝的直径,对传感器和测量系统提出了极高的挑战。
非接触式: 避免在测量过程中对物体表面造成损伤或变形,特别对于精密加工件或易损材料。
高效率/自动化: 在生产线上,测量需要在极短时间内完成,以便与生产节拍同步,实现100%在线检测。
环境适应性: 工业现场通常有灰尘、油污、震动、温度变化等,要求传感器能在恶劣环境下稳定可靠工作。
数据全面性: 不仅要测量单一的厚度或高度点,很多时候还需要获取物体完整的轮廓或表面形状,以便进行更全面的质量评估。
针对大尺寸物体的厚度和高度测量,涉及多种监测参数,其定义和评价方法是确保测量结果准确性和可比性的基础。
厚度 (Thickness): 指物体在某一特定方向上的尺寸,通常是两个相对表面之间的垂直距离。在自动化测量中,厚度通常通过同步测量物体上下两个表面的高度,然后取差值得到。评价时,会关注其是否在设计公差范围内,以及整个物体厚度的一致性(厚度均匀性)。
高度 (Height): 指物体表面相对于一个参考平面或另一个特定特征的垂直距离。例如,测量物体某个特征点相对于其底座的高度,或产品表面凸起/凹陷的高度。评价方法通常是将测量点的高度值与设计图纸上的理论值进行比较,计算偏差。
平面度 (Flatness): 指物体表面与一个理想平面之间的最大偏差。在测量中,会采集物体表面多个点的高度数据,然后通过软件拟合出一个最佳平面,计算所有测量点到这个最佳平面的最大距离。平面度是评估物体表面质量和装配性能的重要指标。
轮廓 (Profile): 指物体某一截面或某一路径上的形状特征。线激光传感器尤其擅长获取二维轮廓数据,可以描述物体的外形、凹槽深度、圆弧半径等。评价轮廓时,常将实测轮廓与标准CAD模型进行比对,评估其偏差。
边沿 (Edge Position): 指物体几何边界线的位置。精确的边沿定位对于装配、焊接、切割等自动化工艺至关重要。测量时,传感器会识别物体表面的突变区域,并定位其边界线在坐标系中的位置。评价通常基于边缘与参考位置的距离偏差。
圆度 (Roundness): 评估物体截面是否接近理想圆形。测量时,通过多点测量或扫描,获取圆形轮廓数据,然后通过软件计算出实际圆与理论圆之间的最大径向偏差。
这些参数的准确获取和评价,是实现大尺寸物体自动化高精度测量、确保产品质量的关键。
3.1 市面上各种相关技术方案
在实现自动化边缘位置测量,特别是大尺寸物体的厚度和高度、且精度要求高达±10μm时,市面上主要有几种非接触式高精度测量技术方案。
3.1.1 激光三角测量原理
想象一下,传感器就像一个拥有“千里眼”和“神笔”的组合。它的“神笔”发射出一条细长的激光线,这条激光线投射到物体表面,在物体上留下一个明亮的光条。这个光条并不是直的,而是随着物体表面的高低起伏而弯曲,就像把一根光线尺子贴在了物体表面上。
这时,“千里眼”(也就是传感器内部的高分辨率相机,通常是CCD或CMOS)从另一个角度观察这个弯曲的光条。当物体表面某一点高了或低了,光条在这个点上的反射光线就会在相机芯片上移动位置。相机捕捉到这些光点的微小位移后,传感器内部的强大处理器会立即进行计算。
这个计算基于一个很巧妙的几何原理——激光三角测量。我们可以把激光发射器、物体表面的一个点和相机接收器上的一个点想象成一个三角形。在这个三角形里,传感器知道它发射激光的角度、相机观察的角度以及它们之间的距离(这个叫基线)。当物体表面高度变化时,相机上反射光点的位置变化,就像三角形的其中一个角在变化,而其他边长是已知的或者可以通过相机视野内的像素位移来推算。
它的核心公式可以用一个简化的关系来表示:物体高度 Z ≈ K * Δx,其中K是一个与传感器内部光学结构、基线距离、镜头焦距和相机感光元件大小等因素相关的常数,而Δx就是光点在相机感光元件上的位移。更严谨地说,一个常见的光学三角测量关系可以用以下方式表达:
Z = B * sin(α) * cos(β) / (sin(α + β) + Δx * sin(β) / f)
其中,B是发射器和接收器之间的基线距离;α是激光束与基线的夹角;β是接收器与基线的夹角;Δx是光点在接收器上的位移;f是接收镜头的焦距。通过解算这个三角关系,传感器就能精确地算出物体表面上每个点的三维坐标,从而得到整个轮廓的形状信息。
因为激光线是由无数个点组成的,传感器就能同时测量出这条线上所有点的Z轴高度,并将它们连接起来,形成一个完整的二维轮廓。当物体沿着与激光线垂直的方向移动时,传感器就能连续不断地获取一系列的轮廓,最终拼接成一个完整的三维模型。
核心性能参数典型范围: 测量范围(Z轴)通常从几毫米到上千毫米不等。重复精度可达1μm到几十微米,取决于量程和传感器型号。扫描速度从每秒几百个轮廓到上万个轮廓。每条轮廓点数从几百到几千点。
优缺点:
优点: 非接触式测量,不会损伤被测物体;测量速度快,能够实时获取物体表面完整的二维轮廓信息,适用于在线动态测量;对多种材料表面有较好的适应性(特别是采用不同波长的激光,如蓝光激光);相对于三维扫描仪,成本效益更高,且集成度高。
局限性: 测量精度会受到被测物体表面反射率、颜色、倾斜角度以及环境光的影响;对于极度透明或镜面反射的材料,测量可能存在挑战(尽管蓝光激光有所改善);存在遮挡效应,即某些深凹陷区域可能无法被相机完整捕捉到。
成本考量: 属于中等偏高,但考虑到其速度和精度,在自动化生产中是高性价比的选择。
3.1.2 机器视觉和深度学习技术
这就像给传统的工业相机装上了一个“大脑”,让它不仅能“看”到物体,还能“理解”物体。智能相机捕获被测物体的二维图像,然后,内置的深度学习算法(可以想象成经过大量学习训练的图像识别专家)会对这些图像进行学习和分析。它不是直接测量距离,而是通过图像像素的特征识别,来判断物体边缘在哪里,形状是什么样,甚至有没有缺陷。即使在光线不好、背景复杂或者物体边缘不清晰的情况下,它也能通过“经验”来准确地找到边缘。
物理基础: 基于图像处理和模式识别。深度学习模型,特别是卷积神经网络(CNN),通过学习大量标注过的图像数据,能够自动提取图像特征,实现对复杂、非结构化数据的识别和分类任务,如边缘检测、缺陷识别等。
核心性能参数典型范围: 空间分辨率取决于相机像素和视野范围。处理速度取决于内置高性能处理器的运算能力和算法优化。测量精度高度依赖于训练数据的质量、模型的泛化能力以及现场图像采集的稳定性。
优缺点:
优点: 极高的柔性和适应性,能够处理传统机器视觉规则难以应对的复杂、多变、低对比度或模糊的边缘特征;尤其擅长检测不规则缺陷和柔性材料的边缘;智能化和自动化程度高。
局限性: 通常不直接提供物体的Z轴高度信息,需要配合其他传感器或通过立体视觉配置才能获取三维数据;对图像质量、训练数据量和训练过程依赖性强;部署和训练成本相对较高。
成本考量: 高,主要体现在硬件(智能相机)和软件(深度学习平台、算法开发)的投入。
3.1.3 白光共聚焦原理
你可以把这种传感器想象成一个拥有“彩色聚焦”能力的眼睛。它发射出一束包含各种颜色的宽光谱白光。当这束光经过一个特殊的透镜时,不同颜色的光线会因为“色散效应”而聚焦在不同的高度上(就像棱镜把白光分成彩虹一样)。只有当被测物体的表面恰好处于某个特定颜色光的焦点位置时,这束光才会强烈地反射回传感器。传感器内部有一个“针孔光阑”,它只允许焦点处反射回来的光线通过,然后一个光谱仪会分析这束光的颜色。根据反射光中最强的颜色(波长),传感器就能极其精确地计算出物体表面的距离。
物理基础及关键公式: 这种技术利用了光学色散效应(Chromatic Aberration)。即在通过透镜时,不同波长的光会聚焦在不同的轴向位置。传感器通过光谱分析,识别反射光强度最大的波长(λ_max),并根据预先标定的波长-距离关系,精确计算出物体表面的轴向距离。
核心性能参数典型范围: 测量范围通常较小,例如几百微米到几十毫米。分辨率极高,可达到纳米级别(通常0.001μm - 0.01μm)。线性度也非常高,例如±0.1μm到±0.5μm。测量频率可达几十kHz。
优缺点:
优点: 极高的测量精度和分辨率,可达纳米级;能够可靠测量各种表面,包括镜面、透明材料、粗糙表面以及多层透明材料的厚度;非接触式测量,对样品无损。
局限性: 测量范围相对较小;通常是单点测量,需要扫描平台才能获取完整的轮廓或面形数据,速度相对较慢;对被测物体的倾斜角度敏感;设备成本非常高。
成本考量: 非常高,主要应用于对精度要求极致的超精密测量领域。
3.1.4 结构光三维扫描原理
这就像给物体表面投射一张“光影网格”,然后用两只“眼睛”(相机)从不同角度去看这张网格在物体表面是如何变形的。扫描仪会投射特定模式的结构光(如条纹图案、编码图案)到物体表面。由于物体表面的高低起伏,这些图案会发生变形。同时,两个或多个高分辨率相机从不同角度捕捉这些变形后的图案图像。通过三角测量原理和复杂的图像处理算法,系统能够计算出物体表面上每个点的三维坐标,最终生成高精度的点云数据或多边形网格模型。对于边缘位置的测量,软件可以从这个完整的3D模型中精确提取出来。
物理基础及关键公式: 基于多视几何和三角测量原理。投影仪作为虚拟的光源,将编码图案投射到物体表面,形成一系列光斑或条纹。两个或多个相机从不同视角捕获这些图案在物体表面的畸变图像。通过对相机图像进行特征点匹配和三维重建算法,例如:
对于投影仪投射的某个点P_p(u_p,v_p)在物体表面形成的光点P_obj(X,Y,Z),两个相机C1和C2会捕捉到其对应的像素点p1(u1,v1)和p2(u2,v2)。
利用相机内参、外参(标定得到)和立体匹配技术,通过光线交汇(三角化)原理,可以精确计算出P_obj的三维坐标。
核心性能参数典型范围: 测量面积可大可小,从几平方厘米到几平方米。点间距通常在0.01mm到几毫米之间。单次扫描精度可达几微米到几十微米。单次扫描时间通常为数秒。
优缺点:
优点: 能够一次性获取物体完整的、高精度的三维形状信息,而不仅仅是边缘或轮廓;对复杂形状、自由曲面以及大尺寸零件的边缘检测能力非常强;自动化集成潜力大,可与机器人结合实现自动化检测。
局限性: 扫描速度相对较慢,不适合超高速在线检测;对环境光线和物体表面反光敏感;设备成本非常高;数据量大,对处理和存储能力有较高要求。
成本考量: 非常高,主要用于离线检测、逆向工程、尺寸分析等高精度三维检测应用。
3.2 市场主流品牌/产品对比
这里我们挑选了几家在自动化测量领域有代表性的国际品牌进行对比,它们各自采用了不同的技术方案,以满足不同的工业需求。
日本基恩士 (采用激光三角测量原理)
核心技术参数: 其LJ-V7000系列图像式位移传感器,Z轴测量范围宽,例如LJ-V7080型号可提供±20mm的测量范围。在最佳条件下,其重复精度可达1μm。产品具有极高的采样速度,最高可达64kHz,并且每条轮廓能够获取2560点。
应用特点: 日本基恩士的产品以其极高的测量速度和精度著称,广泛应用于生产线上各种在线批量检测,例如实时测量零件的尺寸、形状、平面度、高度等。特别适合需要快速响应和精确轮廓分析的场景。
独特优势: 产品设计高度集成化,安装和编程相对简便。凭借其卓越的性能和稳定性,在日本基恩士在全球工业传感器市场中占据领先地位,品牌认可度极高。
英国真尚有 (采用激光三角测量原理)
核心技术参数: 英国真尚有ZLDS202系列线激光传感器拥有宽广的测量范围,Z轴量程从5mm到1165mm,X轴宽度从8mm到1010mm。其Z轴线性度可达±0.01%满量程,X轴线性度为±0.2%满量程。在ROI(感兴趣区域)模式下,扫描速度最高可达16000剖面/秒,X轴分辨率最高可达4600点/轮廓。该系列传感器防护等级达到IP67,工作温度范围宽广,在配备加热器和冷却系统时,可在-40°C至+120°C的环境下工作。
应用特点: 适用于汽车、铁路、机械加工和自动化生产等广泛领域,可进行外轮廓、厚度、高度、深度、边沿、凹槽、角度、圆度和平整度等多种测量任务。其内置的自动焊缝跟踪功能使其在焊接自动化应用中表现出色。
独特优势: 提供多种可选激光波长,包括蓝光激光(450nm),特别适合测量闪亮材料和高温物体。集成了智能块图系统,支持实时3D跟踪和双头技术(ZLDS202-2Cam),有效提升了复杂形状物体的扫描质量和智能化水平。其强大的环境适应性确保了在严苛工业环境下的稳定可靠运行。
德国米克罗埃普西隆 (采用白光共聚焦原理)
核心技术参数: 德国米克罗埃普西隆confocalDT 2421/2422 系列白光共聚焦位移传感器。测量范围精细,例如2421系列可提供1mm至28mm的量程。其分辨率极高,可达到0.005μm (5nm)的水平。线性度表现优秀,例如±0.2μm。测量频率最高可达70kHz。
应用特点: 主要应用于对精度要求极致的领域,如半导体制造、医疗器械、精密光学元件和微电子行业,进行纳米级的高精度边缘和轮廓检测。尤其擅长测量镜面、透明材料和粗糙表面。
独特优势: 在非接触式测量中提供了目前最高的精度和分辨率,能够应对传统光学方法难以测量的各种复杂表面,是超精密测量的首选方案。
瑞典海克斯康 (采用结构光三维扫描原理)
核心技术参数: 瑞典海克斯康GOM ATOS Q结构光三维扫描仪。其测量面积和点间距有多种配置可选,例如点间距可在0.03mm至0.3mm之间。单次扫描精度可达到微米级,具体取决于配置。单次扫描时间通常在数秒。
应用特点: 广泛应用于模具制造、冲压件、铸件以及复杂自由曲面零件的质量控制、逆向工程和尺寸分析。适合对大尺寸、复杂形状物体进行全面三维几何检测。
独特优势: 能够一次性获取物体完整的3D形状信息,进行全尺寸的三维检测和分析,而不仅仅是二维轮廓。自动化集成能力强,可与机器人结合实现自动化检测,大大提高了检测效率和数据全面性。
美国康耐视 (采用机器视觉和深度学习技术)
核心技术参数: 美国康耐视In-Sight D900智能相机。配备高分辨率成像器,内置高性能处理器,支持高速图像处理和决策。集成了ViDi EL深度学习工具集,能够学习和识别复杂图像特征。
应用特点: 擅长处理传统机器视觉规则难以应对的复杂、多变或存在缺陷的边缘,例如在光照不均、背景复杂或产品表面特征不明确的场景下进行高精度边缘定位和缺陷检测。
独特优势: 强大的视觉识别能力和高度智能化水平,通过深度学习模型自动识别和定位边缘特征,大大简化了复杂应用的编程难度,并显著提高了系统对现场环境变化的适应性和鲁棒性。
3.3 选择设备/传感器时需要重点关注的技术指标及选型建议
选择合适的传感器就像挑选一把适合工作的工具,不仅要看它有多锋利,还要看它是否趁手、耐用。对于±10μm精度测量大尺寸物体的厚度和高度,有几个关键指标需要您重点关注:
精度 (Accuracy) 与 重复精度 (Repeatability)
实际意义: 精度是指测量结果与物体真实尺寸的接近程度,而重复精度是指在相同条件下多次测量同一位置时,结果之间的一致性。本问题中±10μm是您的目标。
影响: 精度不足,测量出的产品尺寸就不可信,可能导致合格品被剔除,或不合格品流入市场,直接影响产品质量和客户满意度。
选型建议: 对于±10μm的精度要求,您应该选择重复精度在1-5μm范围内的传感器作为基础,并且要仔细查看其线性度,因为量程越大,绝对误差会相应变大。激光三角测量传感器和白光共聚焦传感器是主要考虑对象。
测量范围 (Measurement Range) 与 视野 (Field of View)
实际意义: Z轴量程是指传感器可以测量的最大高度差,X轴宽度或视野则指传感器单次扫描可以覆盖的物体宽度或面积。这决定了传感器能够测量多大尺寸的物体。
影响: 量程太小无法覆盖整个被测物体或其关键特征;量程过大则可能牺牲一些精度或分辨率。
选型建议: 大尺寸物体需要宽广的X轴视野和足够的Z轴量程。同时,要确保传感器在整个测量范围内都能保持所需的精度。
分辨率 (Resolution)
实际意义: 传感器能够检测到的最小尺寸变化。就像数码相机的像素一样,分辨率越高,看到的细节就越清晰。
影响: 分辨率是实现高精度的基础。如果传感器连微小的尺寸变化都分辨不出,那最终的测量结果就不可能达到高精度。
选型建议: 通常分辨率应远高于您所需的测量精度。例如,±10μm的精度要求,分辨率最好在1μm或更低。白光共聚焦传感器在这方面表现极致,而先进的线激光传感器也能达到亚微米级。
扫描速度/采样频率 (Scanning Speed / Sampling Rate)
实际意义: 传感器每秒能采集多少个轮廓(对于线激光)或多少个点(对于点激光)。在自动化生产线上,这直接关系到检测效率。
影响: 速度慢会拖慢生产节拍,导致生产效率低下;速度过快可能产生海量数据,对数据处理能力和存储提出更高要求。
选型建议: 对于在线实时测量,高扫描速度是必须的。几千赫兹甚至上万赫兹的扫描速度能满足大多数高速生产线的需求。
环境适应性 (Environmental Adaptability)
实际意义: 包括防护等级(如IP67代表防尘防水)、工作温度范围、抗振抗冲击能力等。这决定了传感器能否在恶劣的工业现场(如多尘、潮湿、高温、震动)稳定运行。
影响: 环境适应性差的传感器容易在恶劣条件下损坏,导致停机、维修成本和生产中断。
选型建议: 如果您的生产环境恶劣,务必选择具有高防护等级和宽工作温度范围的传感器。
表面材料适应性 (Material Adaptability)
实际意义: 传感器对不同颜色、反射率(如镜面、粗糙面)、透明度材料的测量能力。
影响: 适应性差会导致某些材料无法测量或测量结果不稳定,限制了传感器的应用范围。
选型建议: 如果需要测量高反光(如抛光金属)、透明(如玻璃)或高温物体,蓝光激光或白光共聚焦传感器会是更优的选择。对于复杂纹理或低对比度表面,则可考虑结合深度学习的机器视觉方案。
3.4 实际应用中可能遇到的问题和相应解决建议
即使选择了最合适的传感器,在实际部署和使用中,仍可能遇到一些挑战。提前了解并准备解决方案至关重要。
问题: 被测物表面反光或吸光严重,导致测量数据不稳定或无法获取。
原因: 高反光表面(如镜面金属)会将大部分激光能量镜面反射走,导致接收器接收不到足够散射光;而深色或吸光表面(如黑色橡胶)会吸收大量激光能量,反射信号过弱。这两种情况都会使传感器难以准确识别光斑位置。
影响: 测量结果跳动大,精度大幅下降,甚至完全没有测量数据,导致生产线停滞。
建议:
选用特定波长激光: 对于闪亮金属,蓝光激光由于其波长短,在金属表面有更好的穿透和散射效果,能有效减少镜面反射的困扰。
调整安装角度: 尝试调整传感器的安装角度,避免镜面反射光直接进入接收器或完全偏离接收器。
利用HDR功能: 部分高级传感器具备高动态范围(HDR)功能,能够同时处理高亮和暗区信号,提升对不同反射率表面的适应性。
表面处理(可选): 对于极端情况,可考虑在被测区域喷涂一层极薄的哑光显影剂,但这会引入额外的工序。
问题: 生产线速度快,被测物体在传感器视野内停留时间短,或存在机械抖动,影响测量精度。
原因: 生产节拍快,传感器需要在极短时间内完成测量;传送带、机器人或工件本身的机械振动,会引入测量误差。
影响: 测量数据抖动、不准确,无法达到±10μm的精度要求,可能导致误判。
建议:
选择高扫描频率传感器: 确保传感器具有足够高的扫描速度,能在物体高速通过时采集到足够多的数据点。
稳定机械结构: 优化测量工装和夹具设计,减少机械振动来源。
数据滤波与平滑: 利用传感器内置的滤波算法或外部信号处理单元对采集到的数据进行平滑处理,去除高频噪声。
编码器同步: 结合编码器,实现测量数据与物体实际位置的精确同步,消除因速度变化导致的测量误差。
问题: 环境光(如阳光、车间照明灯)干扰传感器工作。
原因: 传感器接收器除了接收激光反射光,还会捕捉到环境中的杂散光,这些杂散光会降低信噪比,导致测量误差。
影响: 测量数据噪声增大,稳定性下降,易出现误判甚至测量失败。
建议:
安装遮光罩: 在传感器安装区域设置物理遮光罩,阻挡大部分环境光进入传感器视场。
使用窄带滤光片: 许多传感器内部会集成窄带滤光片,只允许与激光波长相近的光通过,有效抑制杂散光。
选择高功率激光器: 在保证安全等级的前提下,适当增加激光功率,提高反射信号强度,相对降低环境光影响。
问题: 大尺寸物体边缘形状复杂(如毛刺、倒角、圆弧),传统算法难以精确提取。
原因: 传统边缘提取算法通常基于简单的梯度变化,对于模糊、复杂或非标准几何形状的边缘识别能力有限。
影响: 边缘定位不准确,直接影响厚度、高度、位置等关键尺寸的最终测量结果。
建议:
高分辨率与高点密度: 选择具有高X轴分辨率和高点密度的线激光传感器,确保能捕捉到边缘的微小细节。
高级边缘提取算法: 利用传感器内置的智能算法,或结合外部视觉处理软件,采用亚像素边缘提取、多项式拟合或深度学习方法,提升复杂边缘的定位精度。
多传感器融合/双头技术: 对于极复杂的边缘,可以考虑部署多台传感器进行数据融合,或选择具备双头技术的传感器,从多个角度获取更全面的边缘信息,消除遮挡效应。
汽车制造: 在汽车白车身冲压和焊接线上,线激光传感器被广泛应用于在线测量车门、引擎盖、车顶板等部件的间隙、齐平度、焊缝宽度和高度,确保车身部件的精准装配和整体质量。英国真尚有的线激光传感器在这方面有成熟应用案例。
铁路行业: 精密测量钢轨的磨损程度、轮对的轮廓尺寸以及列车车厢连接处的间隙,对于保障轨道交通运行安全和制定维护计划至关重要。
机械加工与自动化生产: 在CNC加工中心或自动化生产线上,传感器实时监测工件在加工前后的尺寸变化、孔径、平面度、刀具磨损,实现生产过程的闭环控制和产品质量的100%检测。
航空航天: 用于检测大型飞机蒙皮、机翼等部件的表面形貌、铆接质量和边缘精度,确保关键部件的几何尺寸符合严格的设计要求。
电子产品制造: 在生产手机、平板等消费电子产品时,传感器精确测量外壳的厚度、边缘间隙和按键高度,以保证产品的外观一致性和高品质组装。
内径测量仪精密轮廓检测系统微观型面测量系统静态形变测量系统精密在线测厚系统振动测量系统无人警卫船光伏清洁机器人智能垃圾压实机智能机器人自稳定无人机起落平台空气质量检测仪桥梁结构健康检测系统其他检测系统
焊缝分析软件3D数据处理软件工业物联网平台电涡流软件预测分析软件AI软件计算机视觉平台数据平台解决方案服务免代码软件集成平台定制软件
测速测长_测距传感器 | 测距仪皮米级电容位移传感器线激光轮廓扫描仪 | 线扫激光传感器激光位移传感器线性位置传感器光谱共焦传感器Kaman传感器系统干涉仪测径仪 | 测微计 | 激光幕帘千分尺传感器纳米平台光栅传感器地下探测仪光纤传感器太赫兹传感器液位测量传感器倾角 | 加速度测量传感器3D扫描传感器视觉相机 | 3D相机水下测量仪磁耦合线性执行器磁场传感器雷达传感器石墨烯霍尔效应传感器卷材位置传感器振动测量传感器结构检测传感器监控电涡流传感器水听器校准器无线光学通讯传感器网关纳米级电涡流传感器其它检测设备