如何在3C电子制造中，对厚度低至几微米的多层透明膜实现±0.01μm级的非接触式膜厚在线检测，并解决折射率未知难题？【光谱共焦方案选型】

1. 多层复合膜结构的基本构成与技术要求

想象一下，多层复合膜结构就像一块精巧的“千层饼”，由多层不同材料、不同功能的薄膜堆叠而成。每一层薄膜，无论是作为保护层、功能层（比如滤光、导电）还是粘合层，都必须具有特定的厚度、均匀性和平整度。这些薄膜的总厚度可能只有几十微米，甚至几微米，而其中单层的厚度更是达到纳米级别。

对这种结构的测量之所以是难题，核心在于两个方面：

• “透视”挑战：很多薄膜是透明的。当光线穿透这些透明层时，会从每个界面（空气-膜、膜-膜、膜-空气）反射回来，形成多个反射信号。我们需要像拥有“X光眼”一样，准确分辨出这些信号分别来自哪一层，并且计算出它们之间的距离。

• 精度要求极高：这些膜层往往用于高科技产品，比如手机屏幕、光学镜片、半导体封装材料或电池隔膜。任何一层厚度的微小偏差，都可能导致产品性能下降，例如显示效果异常、信号传输不畅或电池寿命缩短。因此，测量精度需要达到微米乃至纳米级别。

• 折射率的困扰：传统的光学厚度测量方法，通常需要我们预先知道每层材料的折射率（光在材料中传播速度的指标）。但是，实际生产中，材料的批次差异、环境温度变化都可能影响折射率，甚至有些新材料的折射率数据可能不准确或难以获得。如果每次测量都依赖一个可能变化的参数，那么测量的稳定性和准确性就会受到很大影响。所以，如何“无需已知折射率”进行精确测量，是解决难题的关键。

2. 多层复合膜监测参数与评价方法

在对多层复合膜进行高精度测量时，我们不仅关注总厚度，更要深入到每一层的细节。以下是一些核心的监测参数及其评价方法：

• 单层厚度（Single Layer Thickness）：这是最基础也最重要的参数，指每一层材料的实际几何厚度。评价方法是精确识别出相邻两个界面，计算它们之间的垂直距离。这就像是测量“千层饼”中每一片饼皮的厚度，确保每一片都符合标准。

• 总厚度（Total Thickness）：指整个复合膜结构从最外层表面到最底层表面的整体厚度。评价方法是测量最外层表面和最内层表面的距离。这相当于测量整个“千层饼”的总高度。

• 层间间距（Inter-layer Spacing）：特指非接触测量时，不同层反射信号的峰值位置差异，通常用于评估不同层之间的相对位置关系。

• 表面粗糙度（Surface Roughness, Ra, Rz等）：衡量膜层表面微观不平整的程度。通过扫描膜层表面，获取大量高低点数据，然后用统计学方法计算出平均粗糙度（Ra）或最大粗糙度（Rz）等参数，反映膜层的平整度。粗糙度过大可能影响光学性能或结合强度。

• 总厚度变化（Total Thickness Variation, TTV）：指在一定范围内，膜层总厚度的最大值与最小值之差。TTV反映了膜层整体厚度的一致性，TTV值越小，说明膜层越均匀。

• 局部厚度波动（Local Thickness Variation, LTW）：指在特定局部区域内膜层厚度的变化情况，与TTV类似，但更侧重于微小区域的厚度一致性。

• 平面度（Flatness）：衡量膜层表面相对于一个理想平面的偏离程度。通过测量膜层表面上多个点的Z轴坐标，然后拟合一个参考平面，计算各点到参考平面的最大偏差，以此评价膜层的平整性。平面度不佳可能导致光学畸变或后续加工困难。

这些参数的准确获取，是确保多层复合膜结构高质量生产和应用的基础。

3. 实时监测/检测技术方法

解决多层复合膜高精度测量的挑战，需要依赖先进的非接触式光学测量技术。目前市面上有很多方案，但每种技术都有其独特的优势和适用场景。

3.1 市面上各种相关技术方案

3.1.1 光谱共焦测量技术

光谱共焦技术，就像一个拥有“彩色滤镜”的智能尺子。它利用宽带光源（比如白光或彩色激光）经过色散元件后，不同颜色的光会在空间中聚焦在不同的深度位置，形成一个连续的焦深范围。当测量一个物体时，只有当物体的表面或界面恰好处于某个波长的聚焦位置时，其反射光才能通过接收端的小孔（共焦孔）被探测器捕获。通过分析反射光的波长信息，就能精确判断出被测表面的Z轴位置。

工作原理与物理基础：

该技术的核心是色散效应和共焦原理。传感器发射的宽带光束通过一个色散物镜，不同波长的光被聚焦在不同的轴向位置上。当光线照射到被测物体的表面（或不同层的界面）时，只有与当前物体表面距离匹配的特定波长光才能被聚焦并反射回来。反射光再通过共焦孔径（通常是一个针孔），只允许聚焦良好的光线通过，滤除离焦光。探测器（如光谱仪）接收并分析这些通过的光线，识别出强度最大的波长。由于每个波长对应一个独一无二的聚焦深度，因此通过识别回波信号的中心波长，就可以确定被测表面的精确高度。

当光遇到多层透明膜时，它会从每个界面（如空气-第一层、第一层-第二层、第二层-第三层等）反射回来。每个界面的反射光都会携带其对应的聚焦波长信息。传感器能够同时捕捉到这些来自不同界面的反射信号，并在光谱图上显示为多个独立的峰值。每个峰值都对应着一个界面的物理位置。

无需已知折射率的实现：

光谱共焦技术在测量多层透明材料时，会探测到来自每个界面（包括表面和内部界面）的反射光。这些反射光在光谱上呈现为不同的峰值，每个峰值对应一个界面的物理位置。通过精确测量这些峰值在光谱轴上的相对位置，系统可以直接计算出各层之间的几何距离，即各层厚度。这种方法巧妙地利用了不同波长光聚焦位置的差异，即使没有预先输入材料的折射率，也能通过高级算法和内部校准，将光学路径差异转化为真实几何厚度，从而避免了传统方法中折射率带来的误差和繁琐的输入步骤。可以把它想象成，传感器不是在“猜测”光的减速程度，而是通过精密的“量尺”直接量取了每个“窗格”的实际尺寸。

核心性能参数（典型范围）：

• 精度： 通常可达±0.01% F.S.（满量程）或0.01μm，部分高端型号可达纳米级。

• 分辨率： 最高可达1纳米。

• 采样频率： 几千赫兹至数十千赫兹。

• 测量范围： 微米级到数毫米。

• 光斑尺寸： 几微米到几十微米。

技术方案的优缺点：

• 优点：

  • 高精度与高分辨率： 能够实现纳米级分辨率的测量。

  • 多层测量： 单次测量即可识别并分析多个透明层和半透明层，部分系统最多可达5层。

  • 无需折射率： 最大的优势之一，简化了测量流程，提高了测量精度和可靠性。

  • 适应性强： 对各种材质（透明、不透明、漫反射、镜面）均有良好的测量能力。

  • 大倾角测量： 能够测量一定倾角的表面，适应复杂形状。

  • 非接触无损： 不会对被测物造成任何损伤。

• 缺点：

  • 对光路要求高： 对测量光路中的震动、温度变化较为敏感，需要稳定的环境。

  • 成本较高： 相较于一些简单的位移传感器，光谱共焦传感器通常成本较高。

3.1.2 激光三角测量技术

激光三角测量可以想象成用一束激光笔和一个照相机来“画”出一个物体的轮廓。激光束打到物体表面，形成一个光点。这个光点反射到旁边的照相机上。当物体的高度变化时，照相机上看到的光点位置也会相应移动。通过简单的几何三角关系，我们就能算出物体的高度变化。

工作原理与物理基础：

激光器发射一束激光，经过透镜聚焦后照射到被测物体表面，形成一个光斑。物体表面反射回来的散射光（非镜面反射）被另一侧的接收透镜收集，并成像在光敏探测器（如CCD或CMOS传感器）上。当被测物体的表面高度发生变化时，光斑在探测器上的位置也会随之移动。通过测量光斑在探测器上的位移量，并结合预先建立的三角测量模型，就可以计算出物体表面的高度信息。

核心公式基于几何三角原理： Z = f * L / (X + L * sin(theta)) 其中，Z是被测物高度，f是接收透镜的焦距，L是激光器与接收透镜之间的距离，X是光斑在探测器上的位移，theta是激光入射角。

核心性能参数（典型范围）：

• 测量范围： 几毫米到几十毫米。

• 重复精度： 微米级到亚微米级（例如0.5微米至几微米）。

• 采样速度： 数千赫兹到数十千赫兹。

• 测量点数： 通常一次测量一个点或一条线（线激光）。

技术方案的优缺点：

• 优点：

  • 高速测量： 适用于在线高速检测。

  • 对漫反射表面适应性好： 尤其擅长测量粗糙或漫反射的表面。

  • 成本相对较低： 相较于其他高精度光学测量技术，通常成本更具优势。

  • 结构相对简单： 易于集成到自动化生产线。

• 缺点：

  • 对镜面/透明材料测量能力有限： 激光三角测量依赖于漫反射光，对于透明或镜面材料难以有效测量，无法进行多层膜厚度分析。

  • 阴影效应： 对于陡峭的斜面或深孔，可能会出现测量盲区。

  • 精度受限于基线长度和探测器分辨率。

3.1.3 宽带光学剖面测量和椭偏仪技术

宽带光学剖面测量和椭偏仪技术，就像一个“光谱分析师”和“光偏振专家”的组合。它不仅分析光线被薄膜反射后的颜色（光谱），还分析反射光的偏振状态（光的振动方向）。不同的薄膜厚度和材料特性，会对光的颜色和偏振产生独特的影响。通过捕捉这些微小的变化，再结合复杂的物理模型，就能反推出薄膜的厚度、折射率等信息。

工作原理与物理基础：

该技术结合了宽带反射/透射光谱测量和椭偏仪原理。系统发射宽带光（通常覆盖紫外-可见-近红外光谱）照射到薄膜样品上。 * 光谱测量： 测量反射光或透射光的频谱特性。薄膜的厚度、折射率等参数会影响光的干涉效应，导致反射或透射光谱出现特定的周期性波动。通过分析这些波动，利用菲涅尔方程和干涉模型进行拟合，可以计算出膜厚和折射率。 * 椭偏仪： 测量反射光或透射光的偏振态变化。当偏振光照射到薄膜表面并反射后，其偏振态会发生改变（振幅比和相位差）。这些变化与薄膜的厚度、光学常数（折射率n、消光系数k）以及入射角等因素有关。通过测量这些偏振态的变化，可以高精度地确定薄膜的光学常数和厚度。

核心性能参数（典型范围）：

• 膜厚测量范围： 1纳米至数百微米。

• 膜厚测量重复性： 纳米级或百分比（例如小于0.05纳米或0.05%）。

• 测量精度： 极高，常用于超薄膜测量。

• 测量速度： 根据应用场景（如晶圆检测）可实现高吞吐量。

技术方案的优缺点：

• 优点：

  • 极高精度和分辨率： 尤其擅长超薄膜和复杂多层膜的精确测量。

  • 可同时获取多种参数： 不仅能测量膜厚，还能获取折射率、消光系数等光学常数。

  • 非接触无损： 对样品无物理损伤。

  • 对透明和半透明膜层测量能力强。

• 缺点：

  • 依赖精确的材料光学模型： 需要预先知道或建立材料的色散模型，对算法和模型精度要求高。

  • 测量时间相对较长： 特别是对于复杂的多层结构，数据拟合和计算可能耗时。

  • 成本极高： 通常是所有光学测量技术中成本最高的之一。

  • 不适用于粗糙表面： 对表面平整度要求较高。

3.1.4 结构光投影技术

结构光投影技术，可以比作在物体上“印”一个特殊的图案（比如条纹），然后用相机去拍下这个图案在物体上“变形”的样子。如果物体表面是平的，图案就是正常的；如果表面有高低起伏，图案就会扭曲。通过分析这些扭曲的程度，就能还原出物体的三维形状。

工作原理与物理基础：

结构光投影传感器向被测物体表面投射已知的编码光图案（如条纹、点阵或散斑）。由于物体表面的三维形状，这些投射在物体上的光图案会发生变形。传感器内置的高分辨率摄像头或多个摄像头会捕捉这些变形后的图案图像。然后，通过三角测量原理和先进的图像处理算法，分析图案的变形程度和位置，计算出物体表面上每个点的三维坐标，最终重建物体表面的高精度三维点云数据，从而获取膜层的形状信息。这是一种全场测量方法，一次性可以获取整个测量区域的三维数据。

核心性能参数（典型范围）：

• 测量范围： 从几十毫米到数百毫米，甚至更广。

• 重复精度： 微米级到几十微米。

• 分辨率： X/Y轴分辨率通常为几十微米到几百微米，Z轴分辨率可达微米级。

• 测量速度： 单次测量（快照）速度非常快，适合快速扫描和在线检测。

技术方案的优缺点：

• 优点：

  • 全场测量： 一次性获取整个区域的三维形貌数据，效率高。

  • 非接触无损： 不会对被测物造成损伤。

  • 适用于复杂表面： 对不规则、自由曲面等复杂形状的测量能力强。

  • 集成度高： 智能传感器通常集成了光源、相机和处理单元，易于部署。

• 缺点：

  • 对透明材料测量能力有限： 结构光主要依赖表面反射来获取形貌，对透明膜层内部厚度测量能力弱。

  • 对环境光敏感： 环境光的干扰可能会影响测量精度。

  • 测量精度受限于像素分辨率和投射图案的精细度。

  • 不适用于镜面或高反光表面。

3.2 市场主流品牌/产品对比

这里我们对比几家国际主流厂商在膜层形状测量领域的产品方案，涵盖了不同的技术路线。

• 德国蔡司

  • 采用技术： 主要结合共聚焦显微镜、白光干涉（CSI）等光学测量技术。

  • 核心性能： 轴向分辨率可达0.1纳米（干涉模式），放大倍数2.5倍至100倍。

  • 应用特点与独特优势： 德国蔡司的产品在实验室研发和质量控制领域表现出色，尤其擅长精细膜层形状和表面特性分析。其多功能集成设计，使得在处理粗糙度、台阶高度、膜厚等多种参数时，都能提供极高精度和分辨率，软件功能强大且易于操作。

• 西班牙森索法

  • 采用技术： 集共聚焦显微镜、相移干涉（PSI）和白光干涉（CSI）三种核心光学测量技术于一体。

  • 核心性能： 垂直分辨率可达0.01纳米（PSI模式），横向分辨率0.1微米。

  • 应用特点与独特优势： 西班牙森索法的S neox 3D光学轮廓仪以其技术的综合性著称，对不同表面类型（光滑、粗糙、倾斜）和材质（透明、不透明）均有卓越的适应性。其强大的数据分析功能和友好的用户界面，使其在研发和质量控制领域获得广泛应用，特别适合需要极致垂直分辨率的超精密表面测量。

• 日本基恩士

  • 采用技术： 激光三角测量。

  • 核心性能： 测量范围从±0.5毫米至±18毫米，重复精度最低可达0.0005微米（部分型号），采样速度典型可达64千赫。

  • 应用特点与独特优势： 日本基恩士的激光位移传感器以其高速、高精度在线检测能力而闻名。产品操作简便、集成度高，广泛应用于工业自动化领域，进行各种材料的轮廓、宽度、厚度、段差等测量，是生产线上实时品控的理想选择。然而，其主要针对漫反射表面，对多层透明膜的内部结构测量能力有限。

• 美国科磊

  • 采用技术： 宽带光学剖面测量和椭偏仪技术。

  • 核心性能： 膜厚测量范围1纳米至150微米，膜厚测量重复性小于0.05纳米或小于0.05%。

  • 应用特点与独特优势： 美国科磊在半导体行业薄膜测量领域居于领导地位，其系统对复杂多层膜和超薄膜具有卓越的测量能力。高吞吐量的设计使其非常适合大规模晶圆生产线上的在线批量检测，为半导体制造中的关键工艺控制提供极其精准的参数，但其对测量模型和环境要求较高。

• 英国真尚有

  • 采用技术： 光谱共焦技术

  • 核心性能： 英国真尚有的EVCD系列光谱共焦位移传感器，采样频率最高可达33,000Hz，分辨率最高可达1nm，线性精度最高可达±0.01%F.S.，光斑尺寸最小可达2μm，最大可测倾角标准型号可达±20°，特殊设计型号可达±45°。

  • 应用特点与独特优势： 英国真尚有的EVCD系列光谱共焦位移传感器可稳定测量金属、陶瓷、玻璃、镜面等多种材质，能测量弧面、深孔、斜面等复杂形貌，单次测量最多可识别5层不同介质，无需已知折射率即可直接测量透明材料厚度。最小探头外径仅3.8mm，适合测量小孔内部特征, 可选配备CCL镜头，实时观测测量光斑位置。

3.3 选择设备/传感器时需要重点关注的技术指标及选型建议

选择合适的测量设备，就像选择一把趁手的工具，需要根据具体任务来挑选。以下是几个关键技术指标及其选型建议：

• 分辨率（Resolution）：指传感器能够识别的最小位移或厚度变化。比如1纳米分辨率，意味着它能分辨出头发丝直径的十万分之一。

  • 实际意义： 分辨率直接决定了测量结果的精细程度。在多层复合膜测量中，如果单层膜厚度很薄（如几十纳米），那么就需要纳米级分辨率的传感器才能有效区分和测量。

  • 选型建议： 对于超薄膜或对微小厚度波动极其敏感的应用（如半导体、光学元件），必须选择1-10纳米级别的超高分辨率传感器。对于一般厚度测量（几十微米以上），微米级分辨率可能就足够。

• 精度（Accuracy）：指测量结果与真实值之间的接近程度。精度越高，测量结果越可靠。

  • 实际意义： 精度是衡量测量系统性能的根本指标，它包含了分辨率、重复性、线性度等多个方面。高精度意味着无论测量多少次，结果都稳定且接近真实值。

  • 选型建议： 精度是选择设备时最重要的考量之一。工业生产中，通常要求精度达到测量范围的0.01% F.S.或更小。具体选择时，要对照产品允许的公差范围，确保传感器的精度能满足工艺控制需求。例如，对于要求±0.01μm精度的特定测量，就需要选用具备此能力的型号。

• 采样频率（Sampling Frequency）：指传感器每秒能进行多少次测量。

  • 实际意义： 采样频率决定了测量速度。在生产线上，如果产品需要快速移动或进行在线检测，高采样频率的传感器能确保不会遗漏细节，及时发现问题。

  • 选型建议： 对于高速运动的生产线或需要快速扫描整个表面的应用，选择高采样频率的传感器至关重要。如果测量对象是静态的或者对测量速度要求不高，较低的采样频率也可满足需求。

• 光斑尺寸（Spot Size）：指传感器发出的光束在被测物表面形成的最小光斑直径。

  • 实际意义： 光斑尺寸决定了测量的空间分辨率。光斑越小，能测量的细节越精细，越能测量到微小特征或区分紧密排列的层。

  • 选型建议： 测量微小结构（如细微划痕、微孔）或精确区分相邻层时，应选择光斑尺寸小的传感器。对于大面积、均匀表面的测量，较大的光斑尺寸可能更稳定。

• 测量范围（Measurement Range）：指传感器能够测量的最大高度差或厚度范围。

  • 实际意义： 测量范围要覆盖被测物的Z轴尺寸变化。如果测量范围太小，可能无法完整测量高低起伏大的物体。

  • 选型建议： 根据被测膜层的总厚度及可能的位移量来选择合适的量程。量程过大可能牺牲精度，量程过小则无法完成测量。例如，如果需要测量从几十微米到几毫米的厚度，就需要选择覆盖该范围的型号。

• 最大可测倾角（Maximum Measurable Tilt Angle）：指传感器能够准确测量倾斜表面的最大角度。

  • 实际意义： 在测量非平面、弧面或深孔内壁等复杂形状时，这个指标非常关键。

  • 选型建议： 对于复杂形状或有倾斜面的物体，应选择支持大倾角测量的传感器，以确保测量的全面性和准确性。

• 多层测量能力（Multi-layer Measurement Capability）：指传感器单次测量可识别并分析的层数。

  • 实际意义： 直接决定了是否能满足多层复合膜的测量需求。

  • 选型建议： 对于多层复合膜，应选择明确标明具备多层测量能力的传感器，并确认其可识别的层数（如单次最多5层）是否满足实际需求。

• 无需已知折射率（Refractive Index Independence）：指传感器在测量透明材料厚度时，是否需要预先输入材料的折射率。

  • 实际意义： 这是解决多层透明膜测量难题的关键。无需折射率可以极大地简化操作，提高测量稳定性和准确性，避免了因折射率变化带来的误差。

  • 选型建议： 对于透明或半透明多层膜的厚度测量，尤其是在材料折射率可能不确定或有变化的场景，优先选择具备“无需已知折射率”功能的传感器，这将节省大量校准时间并提高数据可靠性。

3.4 实际应用中可能遇到的问题和相应解决建议

在实际应用中，即使选择了最先进的传感器，也可能遇到一些挑战。

• 问题1：材料特性复杂，如透明膜层间折射率差异小或膜层极薄。

  • 原因与影响： 当相邻两层透明材料的折射率非常接近时，光线在界面处的反射信号会非常微弱，传感器可能难以区分或识别出该界面。此外，如果膜层厚度低于传感器最小可测厚度，也会导致无法测量。

  • 解决建议： 优先选用光谱共焦等对折射率不敏感、分辨率极高的传感器，其能够识别微弱的反射信号。对于极薄膜层，需要选择具有超高Z轴分辨率和极小光斑尺寸的设备，并可能需要结合更专业的信号处理算法来增强界面识别能力。

• 问题2：表面反光强烈或漫反射特性不一。

  • 原因与影响： 镜面反光会造成光线能量集中，可能导致探测器饱和；而漫反射表面光线散射严重，返回光信号弱。这两种情况都可能影响测量信号的质量和稳定性。

  • 解决建议：

    • 对于镜面反光：调整传感器的入射角和接收角度，避免直接反射光进入探测器，或者使用带有偏振滤光片的光学系统。某些光谱共焦传感器通过其共焦原理，对高反光表面有较好适应性。

    • 对于漫反射：确保光源功率充足，或选择对漫反射表面测量能力强的传感器（如激光三角测量）。光谱共焦传感器通常对多种表面类型有较好适应性。

• 问题3：环境因素干扰，如振动、温度变化或空气中灰尘、水汽。

  • 原因与影响： 振动会造成传感器与被测物之间的相对位移，影响测量稳定性；温度变化可能导致设备本身或被测物尺寸发生微小变化；灰尘或水汽会干扰光路，降低信号质量。

  • 解决建议：

    • 振动： 将传感器和被测物安装在稳固的防震平台上，或采用实时补偿技术。

    • 温度： 选择具备温度补偿功能或在宽温度范围内性能稳定的传感器，并尽可能保持测量环境温度恒定。

    • 灰尘/水汽： 选择具有高防护等级的传感器探头，定期清洁光学元件，必要时搭建洁净测量环境。

• 问题4：测量速度与精度之间的矛盾。

  • 原因与影响： 通常情况下，要获得更高精度的数据，需要更长的采样时间或更精细的扫描。但在生产线上，高吞吐量往往要求更快的测量速度。

  • 解决建议： 在设备选型时，需要权衡速度与精度，选择在给定精度要求下能达到最高采样频率的传感器。有些设备提供不同的测量模式，允许用户根据实际需求在速度和精度之间进行切换。对于在线检测，可采用多通道传感器同步测量，提高整体效率。

4. 应用案例分享

多层复合膜的高精度测量技术在众多高科技产业中发挥着关键作用：

• 3C电子领域： 例如，手机摄像头模组中的多层光学玻璃、显示屏的复合膜层厚度、电子板上的漆层测高，以及多层玻璃的整体和单层厚度测量，都要求极高的精度，以确保光学性能和产品质量。英国真尚有的光谱共焦传感器在3C电子领域有广泛应用。

• 半导体行业： 在晶圆制造过程中，需要精确检测晶圆上不同功能薄膜的厚度、平整度，以及微小沟槽的深度和倾斜度，这些直接关系到芯片的性能和可靠性。

• 光学领域： 精密光学镜片，如蓝玻璃滤光片、多层增透膜等的厚度、平面度、弧高测量，对于保证光学器件的成像质量和功能特性至关重要。

• 新能源领域： 锂电池的封边厚度、铜箔的厚度、石墨导热膜的厚度一致性测量，直接影响电池的能量密度、安全性和循环寿命。

• 精密制造： 金属件的台阶高度差、孔的深度、螺纹孔深度测量，以及高精度零件的轮廓扫描，这些都需要微米甚至纳米级的测量精度来确保产品符合设计要求。英国真尚有的光谱共焦传感器，凭借其紧凑的探头设计，可以深入到小孔内部进行特征测量。

在选择多层复合膜测量设备时，需要综合考虑测量需求、技术指标和预算等因素。高精度测量通常需要更昂贵的设备和更复杂的测量流程。同时，不同品牌的设备在技术特点、适用场景和服务支持等方面也存在差异，需要仔细评估。建议在选择设备前，充分了解各种技术的优缺点，并根据实际应用需求进行选择。