在高速工具生产线中,我们通常要定位的“工具”指的是各类切削刀具、模具、夹具或小型工件等。这些工具的结构和材料特性非常多样,例如: * 材料多样性:从高硬度合金钢、陶瓷到复合材料,它们的表面颜色、反射率和纹理差异巨大。有些工具表面可能经过抛光,呈现镜面效果;有些可能粗糙无光泽;还有些可能涂有防腐或识别涂层。 * 几何复杂性:刀具的刃口、槽形、倒角等特征可能非常微小且复杂,需要在微米甚至亚微米级别进行精确识别和测量。例如,切削刀具的刃尖往往只有几十微米,对其定位的精度要求极高。 * 尺寸范围广:从微型钻头到大型铣刀,工具的尺寸跨度很大,这要求传感器既能应对小光斑的精细测量,也能处理大范围的定位任务。
为了在高速生产线上实现稳定、精确的工具定位,对检测技术提出了严苛的技术要求: * 高精度和高分辨率:如同在精密外科手术中,需要医生拥有“火眼金睛”来辨识细微组织一样,传感器必须能检测到工具上哪怕是微米级的尺寸变化或位置偏差,才能确保加工质量。 * 高速响应和高采样率:生产线以极快的速度运行,传感器必须能在极短的时间内完成一次测量并输出结果,就像高速摄影机捕捉瞬间动作一样,确保在工具快速移动时也能捕捉到精确的定位信息。 * 稳定性与可靠性:生产环境往往复杂多变,如温度波动、振动、粉尘、油雾甚至强光干扰。传感器必须能“抗干扰”,持续提供稳定可靠的数据,不能受这些外部因素的影响而“失真”。 * 非接触性测量:避免与工具接触,以防损伤工具表面,特别是精密刀具的刃口,同时也能避免磨损传感器本身,延长使用寿命。 * 适应性强:传感器要能应对不同颜色、不同反射率甚至不同形状的工具表面,就像一个全能的“探险家”,无论地形如何复杂都能完成任务。
在工具生产和检测中,为了确保工具质量和生产效率,通常需要对以下参数进行监测和评价:
尺寸精度(Dimensional Accuracy):
定义:指工具关键几何尺寸(如直径、长度、角度、半径、槽宽等)与设计标称值之间的偏差。这是评估工具是否符合设计要求的基础。
评价方法:通过在多个测量点采集数据,计算出实际尺寸并与理论值进行比较,通常用最大偏差、平均偏差或统计控制图来表示。例如,测量一个钻头的直径,在不同截面取点,计算其平均值和最大最小值,看是否在公差范围内。
位置精度(Positional Accuracy):
定义:指工具在特定坐标系中的实际位置与理论位置之间的偏差。在自动化生产线上,这直接关系到工具能否被准确抓取、安装或加工。
评价方法:通常通过测量工具的中心点或特征点相对于参考基准的X、Y、Z坐标值来确定。例如,机器人抓取刀具时,需要确认刀具尖端是否处于预设的三维空间位置。
跳动量(Runout):
定义:指旋转工具(如铣刀、钻头)在旋转过程中,其表面或轴线相对于理想旋转轴的径向或轴向偏差。这就像一个高速旋转的陀螺,如果它不够平衡,就会出现摇晃。
评价方法:通常在工具旋转时,通过连续测量其表面距离传感器的变化量,并取最大值与最小值之差来计算。径向跳动关注径向偏差,轴向跳动关注轴向偏差。过大的跳动会导致加工表面质量下降和刀具过早磨损。
表面粗糙度(Surface Roughness):
定义:指工具工作表面微观几何形状的不平程度,通常用Ra、Rz等参数表示。粗糙度影响工具的摩擦、磨损、疲劳寿命以及最终加工出的工件表面质量。
评价方法:通过扫描工具表面获取微观轮廓数据,然后根据特定算法计算出粗糙度参数。一些高精度传感器可以直接进行此项测量。
磨损程度(Wear Condition):
定义:指工具在使用过程中,由于摩擦、切削等作用导致的尺寸和形状变化。及时检测磨损有助于预防加工质量问题和工具失效。
评价方法:通过定期测量工具的关键尺寸(如刃口半径、宽度)或轮廓,并与新工具的基准数据进行比较,量化其磨损量。
1. 市面上各种相关技术方案
a. 激光三角测量法
工作原理和物理基础
想象一下,你用手电筒照亮一个物体,然后从旁边一个角度观察光斑的位置,随着物体远近变化,你看到的光斑位置也会移动。激光三角测量法就是利用这个基本原理。
它通过一个发射器向被测工具表面发射一束高能量的激光点(或激光线),这束激光在工具表面形成一个光斑。当工具的位置发生变化时,光斑的反射光会从另一个角度被接收器(通常是一个CCD或CMOS图像传感器)捕获。由于发射器、接收器和激光光斑形成一个固定的“三角关系”,当工具表面距离发生变化时,反射光斑在接收器上的成像位置也会随之移动。通过精确测量光斑在接收器上的位移,就可以根据已知的几何关系(传感器内部的光学参数)计算出工具表面相对于传感器的精确距离。
关键公式: 假设激光器与接收器之间的距离(基线)为 L,激光投射角为 θ,接收器接收反射光的角度为 φ。当被测物表面发生微小位移 Δz 时,光斑在接收器上的成像位置会移动 Δx。 根据三角几何关系,我们可以推导出距离 Z 与光斑在接收器上位置 x 之间的关系: Z = L * sin(θ) / (cos(θ) + sin(θ)/tan(φ)) 或者更简化地,在小角度近似下,我们可以认为测量距离的变化 ΔZ 与接收器上光斑位置的变化 Δx 之间存在一个近乎线性的关系: ΔZ ≈ k * Δx 其中 k 是一个与传感器几何结构和光学参数相关的常数。通过标定,传感器可以精确地将光斑在探测器上的位置映射为距离值。
核心性能参数的典型范围
测量范围:从几毫米到几百毫米,有些高端型号甚至可达1000毫米。
重复精度:通常在微米级别,例如0.1μm到几十微米。
分辨率:可达到测量范围的0.01%甚至更高,例如100mm量程可实现1μm分辨率。
采样速度:从几千赫兹到几十千赫兹,一些高端型号可达70KHz。
技术方案的优缺点
优点:
高速测量:由于是光学非接触式测量,可以实现极高的采样频率,非常适合高速生产线上的在线检测。
精度较高:在合适的量程范围内,可以提供微米级的测量精度,满足大多数工业定位需求。
非接触:不会对被测工具造成任何磨损或损坏。
抗环境光干扰:先进的三角测量传感器通常会使用特定的激光波长和滤光片,并结合复杂的信号处理算法,来有效抑制环境光(包括太阳光)的干扰。
对表面颜色变化有较强适应性:通过调整激光功率和接收器灵敏度,以及采用高级图像处理算法,可以很好地应对不同颜色、反射率的工具表面。
局限性:
受表面反射特性影响:对于极度镜面或吸光性极强的表面,可能会出现光斑过强饱和或过弱无法检测的问题,需要调整传感器参数或选择特殊型号。
存在阴影效应:当被测物表面存在陡峭的台阶或深槽时,可能会出现激光照射不到或反射光被阻挡的区域,形成测量盲区。
成本考量:高精度、高速率的激光三角测量传感器成本相对较高,但考虑到其带来的效率提升和质量保障,通常是值得的。
b. 共焦光学测量法
工作原理和物理基础
共焦光学测量法就像是光学领域的“超声波”,但它用光而不是声波。它发射宽带白光,并通过特殊的光学系统将其聚焦成一个非常小的光点。这个光点具有一个非常窄的焦深,这意味着只有当被测工具表面正好位于这个光点的焦点上时,反射回来的光线才能穿过一个微小的针孔(或狭缝)并被接收器检测到。如果表面不在焦点上,反射光就会被针孔阻挡。
传感器内部会通过色散元件将白光分解成不同波长的光线,不同波长的光在空间上被聚焦到不同的距离。当某个特定波长的光线恰好在被测物表面聚焦并反射回来时,我们就可以通过分析返回光线的波长来精确判断被测物与传感器之间的距离。这种“光谱编码”的方式实现了极高的轴向分辨率。
核心性能参数的典型范围
测量范围:通常较小,从几百微米到几十毫米,例如1mm至28mm。
分辨率:极高,可达纳米甚至亚纳米级别,例如0.002μm。
线性度:非常优秀,通常在±0.03% FSO(满量程)以内。
测量速率:可达几千赫兹到上万赫兹(如70KHz)。
技术方案的优缺点
优点:
极高精度和分辨率:能够实现纳米级别的测量,非常适合对微小特征和表面形貌有极高要求的超精密工具。
表面适应性强:几乎可以测量所有类型的表面,包括镜面、透明材料(如玻璃的上下表面)、粗糙或有吸收性的表面,甚至是多层材料。这是其相较于激光三角法的一个显著优势。
无阴影效应:由于是垂直光路,通常不会产生激光三角测量中的阴影区问题。
局限性:
测量范围小:相较于激光三角法,其测量量程通常较短。
成本极高:共焦传感器是高端测量设备,成本远高于普通激光三角测量传感器。
对环境要求高:通常需要更稳定的环境,对振动、温度变化可能更敏感。
c. 机器视觉技术
工作原理和物理基础
机器视觉技术就像给生产线装上了一双“慧眼”和一颗“大脑”。它通过工业相机获取被测工具的高分辨率图像,然后利用强大的图像处理软件和算法,像人眼分析图像一样,对图像中的工具特征进行识别、测量和判断。这包括边缘检测、模式匹配、尺寸测量、缺陷识别等。通过这些算法,系统可以精确地判断工具的二维或三维位置、尺寸、形状以及表面缺陷。
核心性能参数的典型范围
图像分辨率:从几十万像素到上千万像素,例如最高500万像素或更高。
处理速度:毫秒级,具体取决于图像复杂度和算法。
定位精度:可达亚像素级,取决于光学系统和算法。
检测能力:支持多维度、全方位的质量控制。
技术方案的优缺点
优点:
多维度检测:不仅能定位,还能进行尺寸、形状、表面缺陷、字符识别等多种检测。
灵活性高:通过软件配置可以适应不同的工具和检测任务,更换产品型号时只需调整参数,无需更换硬件。
非接触、非破坏:避免对工具造成任何损伤。
直观性强:图像数据便于人工复核和数据追溯。
局限性:
对环境光敏感:需要稳定、均匀的照明环境,避免阴影和反光。
计算量大:处理高分辨率图像和复杂算法需要较强的计算能力,可能影响实时性,尤其是在对速度要求极高且工具数量巨大的场景。
安装和标定复杂:需要精确的光学配置和复杂的标定过程。
成本考量:系统整体成本(相机、镜头、光源、控制器、软件)较高。
d. 接触式测量法
工作原理和物理基础
接触式测量法是最传统的测量方式之一,就像用尺子或卡尺量东西一样,但它更精密。它使用一个带有高精度测针的探测头,当测针物理接触到被测工具表面时,内部的精密机械结构会发生微小偏转,触发一个高精度电信号。这个信号被接收器捕获,并结合测头本身的坐标信息,就可以精确地确定接触点在三维空间中的坐标。通过在工具表面多个点进行触发,可以构建工具的几何形状或确定其精确位置。
核心性能参数的典型范围
单向重复精度:通常在微米级别,例如1.0 μm (2σ)。
测力:几牛顿到几十牛顿,通常可调。
测量速度:相对较慢,通常在毫米/分钟级别,例如最高2000 mm/min。
技术方案的优缺点
优点:
高精度:在很多应用中能提供非常高的测量精度,尤其是在精密机床上的刀具对刀和工件检测。
数据可靠:测量结果通常不受表面颜色、反射率或粗糙度影响。
原理简单,易于理解:机械触发,物理接触,直观可靠。
局限性:
测量速度慢:由于需要机械接触和移动,测量速度远低于非接触式方法,不适合高速生产线的在线实时定位。
有接触风险:测针可能会对被测工具表面造成轻微划痕或变形,特别是对于精密或软性材料的工具。
测针磨损:测针在使用过程中会磨损,需要定期校准或更换。
不适合复杂轮廓的全扫描:难以对复杂形状进行全轮廓检测,更适合关键点的测量。
成本考量:高精度接触式测头和集成系统成本不低。
2. 市场主流品牌/产品对比
这里我们将对比几款在工具定位和检测领域表现出色的品牌及其技术特点。
a. 日本基恩士(采用激光三角测量法) 日本基恩士在工业传感器领域拥有卓越的声誉。其LJ-X8000系列2D激光轮廓仪,利用激光三角测量原理,通过发射激光线扫描工具表面,快速获取高精度的二维轮廓数据。它能够提供±2.5 mm至±100 mm的测量范围和高达0.1 μm (X轴) / 0.25 μm (Z轴)的重复精度,以及最高64 kHz的采样速度。该系列产品的优势在于能够对刀具刃口、槽形等复杂几何形状进行全轮廓检测,且不受工具颜色、材质或表面光泽度影响,实现生产线上的实时品质控制和批量检测。
b. 英国真尚有(ZLDS100Rd系列,采用激光三角测量法) 英国真尚有ZLDS100Rd系列激光位移传感器是一款紧凑型产品,同样基于激光三角测量原理,其特点在于多种光斑大小选项,可适应不同应用需求(既有小于0.06mm,也有大于1mm)。它拥有高达70 KHz(部分版本)的采样速度,0.01%的分辨率和最高0.03%的线性度。量程可达1000 mm,并提供多个量程中点选择,分别为45mm、310mm、355mm、440mm、375mm和745mm。该系列传感器在极端环境下表现出色,具备可在高速行驶状态下检测、无惧动态变化的路面颜色、抗太阳强光辐射能力强、潮湿路面无干扰、山区公路路面可稳定测量的特点,这些都彰显了其在复杂环境下的稳定性和可靠性。此外,该系列产品提供三种输出功率选项(小于1mW、小于80mW和小于20mW),以及支持RS422或RS485的数字输出接口,以适应不同的应用需求。
c. 德国傲视(采用共焦光学测量法) 德国傲视的confocalDT 2421/2422系列共焦位移传感器以其卓越的测量精度和分辨率闻名。其基于共焦光学原理,能提供1 mm至28 mm的测量范围,分辨率高达0.002 μm,线性度达±0.03% FSO,测量速率最高70 kHz。该产品的独特优势在于能够测量几乎所有表面,包括镜面、透明材料、粗糙或有吸收性的表面,特别适用于对微小特征和表面形貌有极高要求的超精密工具检测。
d. 美国康耐视(采用机器视觉技术) 美国康耐视的In-Sight 2800系列视觉系统,作为工业视觉领域的领导者,采用先进的机器视觉技术。它通过高分辨率相机采集图像,结合强大的智能算法(如边缘检测、模式匹配等)进行分析。该系统提供最高500万像素的图像分辨率,毫秒级的处理速度和可达亚像素级的定位精度。其优势在于提供灵活、高速、非接触式的在线检测方案,能够对工具进行多维度、全方位的质量控制,包括尺寸、形状、表面缺陷和精确位置的验证。
e. 瑞典海克斯康(采用激光扫描/三坐标测量技术) 瑞典海克斯康的Absolute Arm 85系列配备RS6激光扫描仪,结合了关节臂式三坐标测量机的灵活性与激光线扫描技术的非接触性。RS6激光扫描仪本身利用激光三角测量原理快速采集工具表面的数百万点云数据。该系统能提供最高0.024 mm(臂长2.5m时)的3D点测量精度,扫描速度高达750,000点/秒,激光线宽150 mm。其优势在于兼具接触式探测和高速激光扫描能力,可对复杂形状、大尺寸工具进行高精度三维数字化和尺寸分析,操作灵活便捷,适用于车间环境。
3. 选择设备/传感器时需要重点关注的技术指标及选型建议
选择合适的激光位移传感器,就像挑选一把称手的工具,需要根据具体任务(即被测工具的特性和应用场景)来衡量各项指标。
a. 测量范围(Measurement Range) * 实际意义:传感器能够进行精确测量的距离范围。 * 对测量效果影响:范围过小可能无法覆盖工具的尺寸变化或定位空间;范围过大则可能牺牲测量精度(通常量程越大,相对精度越低)。 * 选型建议:根据被测工具的尺寸变化范围和传感器安装距离来确定。如果工具尺寸变化大或需要远距离安装,选择大范围传感器;如果只需精确测量微小特征,则选择小范围高精度的传感器。例如,测量一个从几十毫米到几百毫米的刀具长度,就需要一个量程足够大的传感器。
b. 分辨率(Resolution) * 实际意义:传感器能够检测到的最小距离变化量。就好比一把尺子上的最小刻度,刻度越小,能测量的精度就越高。 * 对测量效果影响:直接决定了测量的精细程度。分辨率不足会导致微小变化被忽略,影响定位精度。 * 选型建议:对于要求高精度的刃口定位或微小缺陷检测,应选择亚微米甚至纳米级分辨率的传感器;对于一般的位置监测,微米级分辨率即可满足需求。
c. 线性度(Linearity) * 实际意义:传感器输出信号与实际距离变化之间的线性关系程度。理想情况下,两者应呈完美直线关系,但实际总有偏差。 * 对测量效果影响:线性度越好,测量结果的准确性越高,误差越小。就像一个弹簧秤,线性度好意味着它的刻度是均匀准确的。 * 选型建议:通常要求在0.01%至0.05% FSO(满量程)之间。对精密定位和尺寸测量,线性度至关重要。
d. 采样速度/测量速率(Sampling Rate/Measurement Rate) * 实际意义:传感器每秒能够完成的测量次数。 * 对测量效果影响:直接决定了传感器能否捕捉到高速移动工具的实时位置。速度越快,越能避免“模糊”和“跳帧”,保证数据连续性。 * 选型建议:高速生产线是关键,应选择高采样率(如几十KHz甚至更高)的传感器。例如,如果工具每秒移动几米,而你需要每毫米都获取一个位置数据,就需要非常高的采样速度。
e. 光斑大小(Spot Size) * 实际意义:激光束照射到工具表面的光斑直径。 * 对测量效果影响:光斑过大可能会“模糊”微小特征,导致测量不准;光斑过小则可能受表面粗糙度影响大,或者在移动测量时可能漏掉数据。 * 选型建议:对于微小特征(如刀具刃口)的检测,需要选择小光斑传感器;对于大面积或粗糙表面的定位,可以选择稍大光斑以平滑表面纹理影响。
f. 环境适应性(Environmental Adaptability) * 实际意义:传感器在恶劣环境(如温度、湿度、振动、粉尘、强光)下保持稳定性能的能力。 * 对测量效果影响:环境因素可能导致传感器读数漂移、不稳定甚至损坏,严重影响生产效率和质量。 * 选型建议:在多尘、多油雾、有振动或有强环境光的生产线,应选择具有高防护等级(IP等级)、宽工作温度范围、抗振设计和强光抑制功能的传感器。
4. 实际应用中可能遇到的问题和相应解决建议
在高速工具生产线中部署激光位移传感器时,即使选择了优秀的设备,也可能遇到一些挑战。
a. 问题:工具表面特性复杂,影响测量稳定性 * 原因及影响:工具表面可能呈现镜面、哑光、粗糙、不同颜色或材质混合等情况。例如,一个抛光的刀具表面可能会导致激光反射过强或漫反射不足,使得接收器接收到的信号不稳定,从而产生跳动或错误读数。 * 解决建议: 1. 传感器选型优化:优先选择对表面特性适应性强的传感器,例如,部分激光三角传感器具备动态光强调节功能,能够自动适应不同反射率的表面;共焦传感器对镜面和透明物体有天然优势。 2. 调整传感器参数:根据工具表面特性,手动或自动调整激光功率、积分时间、增益等参数,以优化信号质量。 3. 表面处理:在允许的情况下,可对特定区域进行喷涂哑光漆或贴附扩散膜,以改善激光反射特性,但这通常会引入额外工序和成本。
b. 问题:生产线高速运行,数据吞吐量大,实时性不足 * 原因及影响:传感器采样速度高,但数据传输和上位机处理速度跟不上,导致数据积压、延迟,无法实现真正的实时定位和反馈控制,进而影响生产节拍。 * 解决建议: 1. 选用高速通信接口:优先选择支持RS422、RS485、EtherCAT、Profinet等高速数字输出接口的传感器,确保数据传输效率。 2. 优化数据处理架构:在上位机采用多线程处理、FPGA加速卡或边缘计算设备,分担主控CPU的计算压力,实现并行处理和快速响应。 3. 数据过滤与精简:根据实际需求,进行实时数据滤波(如滑动平均、卡尔曼滤波)和关键数据提取,减少无效数据传输和处理负荷。
c. 问题:环境干扰(振动、粉尘、油雾、温度变化、强光) * 原因及影响: * 振动:机器振动会导致传感器或工具相对位置发生瞬时变化,引入测量误差,使定位结果不稳定。 * 粉尘、油雾:会污染传感器镜头,降低激光透射和反射信号强度,甚至完全阻挡光路;同时,空气中的微粒也可能散射激光,产生噪音。 * 温度变化:光学元件的热胀冷缩可能导致传感器内部结构微小变形,影响测量精度和线性度。 * 强光:如车间窗户射入的太阳光或照明灯,可能干扰传感器接收器,导致误判。 * 解决建议: 1. 抗振动设计:传感器安装时使用抗振支架或减振平台,并选择内部具有抗振设计的产品。 2. 防护与清洁:为传感器加装防护罩,定期清洁传感器镜头;在极端环境下可考虑空气吹扫装置,持续清除镜头表面的污染物。 3. 温度控制:选择宽工作温度范围的传感器,或在必要时为传感器提供独立的温控环境。 4. 环境光抑制:选择具有强光抑制功能、使用特定波长激光并带有窄带滤光片的传感器;或者通过物理遮挡、调整光源位置等方式,减少环境光对传感器的直射。
d. 问题:工具定位复杂,单一传感器难以满足需求 * 原因及影响:一些复杂工具的定位不仅需要高度,还需要三维坐标甚至姿态信息。单一的激光位移传感器通常只能提供一维(距离)信息,无法全面满足要求。 * 解决建议: 1. 多传感器融合:采用多个激光位移传感器进行组合测量,通过计算获得三维位置信息。 2. 结合其他技术:将激光位移传感器与机器视觉、2D/3D激光扫描仪或协作机器人等技术结合,形成更全面的解决方案,实现多维度、高精度的工具定位和姿态识别。
数控机床刀具破损检测与寿命管理:在数控加工过程中,激光位移传感器对高速旋转的刀具刃口进行实时扫描,通过测量其几何尺寸变化来判断刀具是否磨损或破损,从而及时更换刀具,避免加工不良品,延长刀具使用寿命。英国真尚有的激光位移传感器具有多种光斑大小可选,能够适应不同刀具的检测需求。
自动化装配线工具抓取定位:在机器人自动化装配线上,激光位移传感器用于精确测量放置在料盘或传送带上的各种工具(如钻头、螺丝刀头)的三维位置,引导机器人机械手准确抓取,确保后续装配的精度和效率。
精密工具尺寸在线测量:对于生产线上的精密钻头、铣刀等工具,激光位移传感器可以在不停止生产的情况下,对刀具的直径、长度、刃口角度等关键尺寸进行高精度在线测量,实现100%的全检,保障产品质量。
模具定位与间隙检测:在模具制造或维护中,利用激光位移传感器精确测量模具型腔或型芯的相对位置,以及模具合模后的间隙,确保模具的精度,提高注塑或冲压产品的质量。
在选择工具定位和检测方案时,需要综合考虑工具的材料、几何形状、尺寸范围以及生产环境等因素。激光三角测量法适用于高速、高精度的在线检测,共焦光学测量法适用于对微小特征和表面形貌有极高要求的应用,机器视觉技术适用于多维度、全方位的质量控制,而接触式测量法适用于需要高精度和数据可靠性的场合。根据实际需求选择合适的品牌和产品,才能有效地提高生产效率和产品质量。
内径测量仪精密轮廓检测系统微观型面测量系统静态形变测量系统精密在线测厚系统振动测量系统无人警卫船光伏清洁机器人智能垃圾压实机智能机器人自稳定无人机起落平台空气质量检测仪桥梁结构健康检测系统其他检测系统
焊缝分析软件3D数据处理软件工业物联网平台电涡流软件预测分析软件AI软件计算机视觉平台数据平台解决方案服务免代码软件集成平台定制软件
测速测长_测距传感器 | 测距仪皮米级电容位移传感器线激光轮廓扫描仪 | 线扫激光传感器激光位移传感器线性位置传感器光谱共焦传感器Kaman传感器系统干涉仪测径仪 | 测微计 | 激光幕帘千分尺传感器纳米平台光栅传感器地下探测仪光纤传感器太赫兹传感器液位测量传感器倾角 | 加速度测量传感器3D扫描传感器视觉相机 | 3D相机水下测量仪磁耦合线性执行器磁场传感器雷达传感器石墨烯霍尔效应传感器卷材位置传感器振动测量传感器结构检测传感器监控电涡流传感器水听器校准器无线光学通讯传感器网关纳米级电涡流传感器其它检测设备